步信自動化科技(上海)有限公司
株式會社ULVAC作為追求真空極限(UltimateinVacuum)的真空技術,以電子技術及信息通信技術為首,在能源、環保、運輸、醫藥、食品、化工、生物工程等廣闊的領域,以生產設備為中心、提供*的真空技術產品
株式會社ULVAC作為追求真空極限(Ultimate in Vacuum)的真空技術,以電子技術及信息通信技術為首,在能源、環保、運輸、醫藥、食品、化工、生物工程等廣闊的領域,以生產設備為中心、提供*的真空技術產品。特別是在半導體制造設備及平面顯示器等制造設備方面,以真空技術為基礎,進行了各種技術開發,已經和正在提供作為制造工藝重要部分的*設備。
1-泵體;2-旋片;3-轉子;4-彈簧;5-排氣閥
旋片泵工作原理圖
愛發科真空泵電功率的增大主要是機械上的毛病。如新安裝的愛發科真空泵聯軸器組裝不當,即機泵的軸線不在同一條直線上,旋片與缸體碰撞,會使泵浦運轉時電流增大,應重新組裝真空泵。正常運行的泵浦,電動機導軸承和推理軸承的磨損,真空泵軸承和旋片磨損或者是電動機轉子的掃膛。這些都會增加泵浦的機械磨損,導致電流增大并耗用電功率。因此泵浦運用到一定時間應進行保養和更換易損件。
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