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愛發科渦旋式真空泵

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更新時間：2022-07-30 15:23:46瀏覽次數：133次

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產品簡介

ULVAC作為追求真空極限（UltimateinVacuum)的真空技術，以電子技術及信息通信技術為首，在能源、環保、運輸、醫藥、食品、化工、生物工程等廣闊的領域，以生產設備為中心、提供*的真空技術產品

詳細介紹

ULVAC作為追求真空極限（Ultimate in Vacuum)的真空技術，以電子技術及信息通信技術為首，在能源、環保、運輸、醫藥、食品、化工、生物工程等廣闊的領域，以生產設備為中心、提供*的真空技術產品。特別是在半導體制造設備及平面顯示器等制造設備方面，以真空技術為基礎，進行了各種技術開發，已經和正在提供作為制造工藝重要部分的*設備。

渦旋式真空泵工作原理圖

渦旋式泵主要包括左定子、右定子、轉子、曲軸、防自轉機構、進氣口、排氣口等部分。氣體在由渦旋定子和渦旋轉子組成的月

牙腔內壓縮，渦旋定子固定在機架的周邊上，在渦旋定子的周邊上開有吸氣口，在轉子和定子渦旋體中心部開有排氣口。渦旋轉

子隨著曲軸的回轉以偏心量作為半徑繞定子中心做公轉運動。在渦旋轉子還受防自傳結構的約束，不能自傳，始終保持著一種固

定的姿勢，其中心繞渦旋定子中心作半徑為R的圓周運動。

1.無需使用泵油,無需泵油交換,沒有油污染;

2.耗電比油泵少;

3.空冷式,無需冷卻水.

關鍵詞：顯示器真空泵