上海滬辰自動化系統工程有限公司
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<ul id="qqie6"></ul> 上海滬辰自動化系統工程有限公司
氣體輸送柜GC產品特性：可實現電子級特殊氣體的持續不間斷安全供應
產品特性：可實現電子級特殊氣體的持續不間斷安全供應。主要采用PLC控制，觸控屏為人機界面或數顯按鈕式操作界面。
主要特點：自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷。
適用場合：主要適用于IC、TFT、Solar、LED等工廠特氣的供氣需求。
適用氣體：易燃/自燃性、腐蝕性、毒性，如SIH4,NF3,NH3,N2O,HCL等。
氣源供應方式：Cylinder
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