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閱讀:40發布時間:2025-2-22
很多小伙伴都在問等離子體表面處理儀怎么用,今天就納恩科技的小編來教教大家怎么使用等離子體表面處理儀吧,跟著下面的操作步驟一步步走,很快就能學會。
1.等離子體表面處理儀自動狀態下運行處理使用方法
圖一 系統控制入口
圖二 主機界面
圖三 參數畫面
1、開機后,點擊“系統控制入口"(圖 1)進入“主機界面"(圖 2), 右上角默認為“自動狀態";點擊“參數畫面"(圖 3),進入“參 1. 數設置頁面一"修改清洗時間或清除清洗數量,根據實驗需求開啟 或關閉 A 氣體和 B 氣體。
2、點擊“自動畫面"返回主機界面(圖 2)。
3、調節功率,功率調節范圍 60%-99%,根據實驗需求進行調節。
4、 將被處理物放置真空腔內,關好腔門,按下啟動按鈕,開始抽真空。
5、待腔體產生輝光,根據實驗需求,手動調節流量計旋鈕添加輔助性氣體。
6、到達設置好的處理時間后,平衡閥自動復原,5 秒左右恢復常壓,無進氣聲響時,可打開腔門。
7、打開腔門,取出被處理物,一個自動處理過程結束。
以上各命令都可在鍵下終止,回到復位狀態。所有數字量都可自 由調整,確認鍵后數據會記憶保存,斷電不丟。
備注:“參數設置頁面"(圖 3)顯示的“參數畫面二"為廠家出廠時 已設置好的一些基本報警功能,無特殊情況無需進入更改,如定要修改可點擊登錄密碼“9999"后進入調整。
真空未到等待時間是指抽真空時間到達時間后,真空度仍不 好時會產生報警,提醒需檢查設備是否有漏氣的風險。
清洗完畢后大氣閥打開時間是指清洗完畢后設定的破真空時間。
射頻開啟前開啟 AB 氣體時間長度是指 AB 氣體需開啟一段時間后射頻電源再開啟。
(圖 4 參數畫面二)
(圖 5 手動畫面)
(圖 6 手動畫面 1)
(圖7 手動畫面)
1、將被處理物體放置到腔體內,關好倉門。
2、調節功率,功率調節范圍 60%-99%,根據實驗需求進行調節。
3、開機后,進入“ 系統控制入口"(圖 1),點擊屏幕“手動畫面", 進入手動頁面,開啟手動狀態,當右上角的“手動狀態"顯示 為黃色時,證明已切換成功。
4、手動點擊開啟真空泵,開始抽真空。(圖 5)
5、當真空度顯示 OK 后,手動開啟射頻電源,開始發出輝光,物體 進入清洗過程。(圖 5)
6、根據實驗需求,手動開啟氣體 A 或者氣體 B 的閥門開關,手動 調節流量計旋鈕添加輔助性氣體。(圖 5)
7、當到達所需的處理時間時,手動依次關閉射頻電源,閥門,真 空泵,開啟平衡閥進行破真空。(圖 5)
8、當腔內恢復常壓,無進氣聲響時,點擊清洗完成(如圖 7), 手動打開腔門取出被處理物,一個手動處理過程結束。
注意:手動畫面(圖 5)和手動畫面 1(圖 6)的操作步驟是一樣的, 只是顯示界面不一樣。在手動狀態下,真空泵,射頻電源,閥門,平 衡閥等,每一步都需要進行手動開啟和關閉才能操作。
以上就是納恩科技小型等離子體表面處理儀的使用操作步驟,如果看了以上內容還不會使用的話,可以聯系我們進行遠程操作指導。
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