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等離子體表面處理儀使用方法

閱讀：7發布時間：2025-2-22

等離子體表面處理儀使用方法如下：

1、進入“主機界面"（圖 1主機界面），點擊“下一頁"進入“功能畫面"選擇“參數頁面"，進入參數畫面，系統參數設定是通過觸摸式一體化機完成的，其中射頻功率、清洗時間、充氣種類、充氣數量等都可通過觸摸屏設定，如果需要混合氣體清洗，可選擇對應的不同充氣管路，并分別設置充氣流量，抽氣本底壓強等中間控制點，可通過真空計設置。

2、返回主機界面。點擊“下一頁"進入“手動頁面"將氣體閥門設置為打開狀態。

3、調節功率，功率調節范圍 80%-99%，可根據實驗需求進行調節。

4、將被處理物放置真空腔內，關好腔門，按下啟動按鈕，打開真空泵開始抽取真空，當腔體內氣壓低于 100Pa 時打開射頻電源。

5、待腔體產生輝光，根據實驗需求，手動調節流量計旋鈕添加輔助性氣體。

6、到達處理時間后，平衡閥自動復原，10 秒左右恢復常壓，無進氣聲響時，腔門自動打開。

7、打開腔門，取出被處理樣品，一次處理流程至此結束。

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