等離子體表面處理儀不輝光有可能是以下幾種情況造成的，可以通過(guò)排查確認(rèn)哪里出了問(wèn)題，如果還是解決不了，建議找廠家解決問(wèn)題，一般像我們的設(shè)備都是質(zhì)保一年的，所以不用擔(dān)心售后問(wèn)題。
1）實(shí)驗(yàn)室電壓不穩(wěn)，設(shè)備保險(xiǎn)絲熔斷；
2）等離子主機(jī)射頻電源故障，無(wú)法提供產(chǎn)生輝光所需的射頻光源；
3）真空密封性可能存在漏氣問(wèn)題，無(wú)法達(dá)到產(chǎn)生輝光所需的真空負(fù)壓環(huán)境；
等離子體表面處理儀不起輝主要有兩個(gè)方面：
一是真空度不夠，儀器正常工作時(shí)真空度一般在70-100Pa之間。
二是主機(jī)設(shè)備出現(xiàn)故障，你可以找一個(gè)短一點(diǎn)的日光燈管代替反應(yīng)艙。將其放入艙體內(nèi)。開(kāi)主機(jī)電源、開(kāi)功率旋鈕，觀察燈管是否有產(chǎn)生輝光。（此時(shí)反應(yīng)艙體應(yīng)該為常壓，即不抽真空）如果燈管沒(méi)有產(chǎn)生輝光，即儀器有問(wèn)題，檢差射頻電源等相關(guān)電子部分（請(qǐng)廠家?guī)椭鷻z查）。如果燈管產(chǎn)生輝光即真空部分有問(wèn)題，檢查真空系統(tǒng)（如真空管接口是否松動(dòng)，真空管是否老化漏氣等等）。
如果是保險(xiǎn)絲熔斷，可以直接更換保險(xiǎn)絲就行。
以上就是等離子體表面處理儀不發(fā)光的可能原因及解決辦法，能找售后盡量找售后，上面內(nèi)容僅供參考。
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