傳統硅太陽能制備工藝生產的多晶硅太陽能電池光電轉換效率約為17%，難以突破。采用低溫等離子清洗機對電池表面進行處理，多晶硅太陽能電池的峰值功率和光電轉換效率提高了5%左右。
用等離子清洗機處理多晶硅電池表面的方法，具有氨化磚表面鈍化、磷磚玻璃去除、電池清洗、絨面優化的功能。因此，采用等離子清洗技術可以提高太陽能電池的產品性能。
低溫等離子體由大量的電子、離子和中性粒子組成。低溫等離子體中存在著復雜的原子、分子碰撞過程和各種物理、化學反應。這些顆粒和這些復雜的過程作用于材料表面，會改變材料表面的結構、成分和性能。
等離子體在太陽能光伏電池行業的五大應用
1.清潔指紋油
在鋪設或焊接過程中，由于手指觸摸，電池板表面會留下指紋和油漬。電池片的表面有很細的絨面結構，所以很難清洗。油漬會阻礙電池表面對光線的吸收和利用，導致電池組件的發電效率下降。低溫等離子體通過電離氣體產生高溫高速電子束（宏觀上顯示氣體溫度較低），在軸流風扇的作用下將電子束吹出，去除油污、指紋等。電池的表面，從而起到清潔的作用。
2.紋理表面
多晶硅光伏電池的表面需要通過制絨工藝制備一層蠕蟲狀絨面，從而提高光的吸收和利用效率。一般的制備工藝是用硝酸和氫氟酸按一定的比例對多晶硅電池表面進行刻蝕，使硅片表面形成一層多孔硅。多孔硅可以作為吸雜中心，提高光生載流子的壽命，具有較低的反射系數。然而，多孔硅結構松散且不穩定，電阻和表面復合率高。。低溫等離子體的高速粒子撞擊電池片表面，一方面可以使絨面更加細致有序，另一方面也可以使表面結構更加穩定，減少復合中心的產生。
3.溫蝕刻
由于磷在光伏制備過程中的擴散，電池的表面和邊緣不可避免地會摻雜磷。隨著磷的擴散，光生電子將從前面流向后面，導致PN結短路，導致并聯電阻減小。。并聯電阻反映了電池的泄漏水平，這將影響太陽能電池的開路電壓。它的降低會降低開路電壓，但對短路電流基本沒有影響。電池表面還形成了PSG（磷硅酸鹽玻璃），PSG易于吸收空氣中的水分，從而降低了電流和功率衰減。。低溫等離子體可以通過粒子掃掠分解過量的擴散磷，從而達到去除PSG的目的。
4.表面鈍化
在光伏電池的制備過程中，由于切割過程的存在，會在電池表面形成懸掛鍵。懸掛鍵可以捕獲光生載流子，限制光電流的產生，這是光伏電池的一種嚴重的能量損耗方法。。低溫等離子體可以電離氫氣，利用氫離子修復鈍化電池表面的懸掛鍵，使硅原子恢復到穩定的結構。。
5.減少死層的影響
在擴散區，由于磷原子處于晶格間隙位置，會導致晶格缺陷。由于磷和硅之間的原子半徑不匹配，高濃度的磷也會導致晶格缺陷。。因此，在硅電池的表面層中，少數載流子的壽命極低，表面層吸收短波長光子產生的光生載流子對電池的光電流輸出貢獻很小。因此，表層被稱為“死層"。。“死層"的存在是不可避免的，但有些方法可以用來減少“死層"的影響。低溫等離子體的吹掃可以使表面磷原子的分布更加均勻，并促進磷原子的正確放置，從而減少死層對電池表面的影響。
低溫等離子體處理的一個顯著特點是工藝參數的控制，使其具有可靠性和重現性，特別是在工業生產中。低溫等離子體技術有望在不久的將來在第三代太陽能電池中發揮重要作用。
