柔性電子器件基礎結構為薄膜/基體，其結構直接影響柔性電子器件的使用，這里就涉及到 PDMS 的不可逆鍵合。實現不可逆鍵合是實現柔性電子器件運用的根本所在。雖然PDMS 運用非常廣泛，但是PDMS本身具有高疏水性、對非極性物質的強吸附性差等缺點，所以PDMS在常態下，其表面若不經過任何處理自身是無法與玻璃或金屬薄片等材料實現不可逆鍵合，這樣的缺陷非常限制PDMS的運用。自上個世紀90年代，為提高PDMS表面的親水性，PDMS表面改性方法成為研究人員研究焦點。PDMS表面改性的方法有很多，其中等離子體處理方法不斷被挖掘出來。
基于等離子體處理的材料表面一般會產生氧化效果或者是交聯效果，各種空氣和二氧化碳等氣體可以氧化PDMS等聚合物的表面，產生了含氧基團，而惰性氣體可以使PDMS表面產生自由基位點，活化了聚合物的表面。
當等離子體作用于固體表面，發生刻蝕作用，即曝露在外的表面材料和原有的表面污染物生成揮發性氣態物質除去，固體表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面積，并提高固體表面的潤濕性能；PDMS中大部分的鍵能在0~10eV，等離子體中的粒子能量在0~20eV，因此將固體表面暴露于等離子體后，材料表面物質化學鍵獲得足夠能量而被打斷，產生自由基，并形成網狀的交聯結構，增強了PDMS表面活性。如果引入反應性氣體，被等離子體活化的物質表面與反應性氣體發生某種復雜化學反應，從而產生新的活性基團，如氨基、烴基和羧基等，對材料表面活性有顯著影響。
等離子體改性高聚物材料表面過程包括清洗材料表面，表面刻蝕，材料表面分子
交聯，修飾材料表面化學結構，產生自由基并引入化學官能團。等離子體法改性材料表面用時短且操作簡易，同時高聚物的性能不會被改變，因此等離子處理目前已成為高聚物表面改性的主要手段之一。高聚物材料表面的改性效果主要受以下三個參數影響:射頻功率、改性時間、氣體流量，這三個參數的不同搭配組合對表面有不同程度的改性效果，所以研究其組合方案是實現PDMS表面獲得親水性及實現不可逆鍵合非常重要的一環。
等離子處理后，鍵合效果也受改性后多久進行鍵合、鍵合時間的長短與鍵合加載壓力有關。理論上PDMS在氧等離子體改性處理后，PDMS表面的親水性隨時間的流逝而減小，所以處理完畢后應盡快進行鍵合，不然PDMS表面的疏水性將恢復,這樣會導致鍵合失效，因此要求改性后的鍵合操作一般在1~10min內執行
