簡介
完善的高精度輪廓測量儀
? CV-3200/4500 系列是在Z1 軸(檢出器) 上配有高精度弧形光柵尺和新型測臂的輪廓測量儀。高精度弧形光柵尺能直接讀取測針的弧形軌跡，以實現高精度和高分辨力。與傳統型號相比，新測臂使Z1軸測量范圍增大了10mm 同時減少了工件的干擾。測臂安裝部采用了磁性鏈接件，單此接觸就能完成測臂的裝卸，提高了易用性。
? 專為CV-4500 系列增加了以下兩大特性：
(1) 裝配雙面測針，實現垂直方向(上/下) 連續測量，所獲取的數據實現簡單分析以往難以測量的內螺紋有效直徑。
(2) 測力可在FORMTRACEPAK 軟件中設置。無需調整配重位置。
產品參數規格：
| 貨號 | CV-3200S4 | CV-3200H4 | CV-3200W4 | CV-3200S8 | CV-3200H8 | CV-3200W8 |
| CV-4500S4 | CV-4500H4 | CV-4500W4 | CV-4500S8 | CV-4500H8 | CV-4500W8 |
| 測量
范圍 | X 軸 | 100mm | 200mm |
| Z1 軸(檢出器) | 60mm (水平位置±30mm) |
| Z2 軸 (立柱) 移動范圍 | 300mm | 500mm | 300mm | 500mm |
|
Z1 軸
(檢出器) | 光柵尺類型 | 弧形 |
| 分辨力 | CV-3200 系列: 0.04µm, CV-4500 系列: 0.02µm |
| 測針上/ 下運作 | 弧形移動 |
| 測量方向 | 向前/ 向后 |
| 測針方向 | CV-3200 系列: 垂直方向 (向上/ 向下單獨測量)
CV-4500 系列: 垂直方向 (向上/ 向下根據配重調整) |
| 測力 | CV-3200 系列: 30mN (上下可連續測量)
CV-4500 系列: 10, 20, 30, 40, 50mN (根據軟件轉換) |
| 跟蹤角度 | 向上: 77o, 向下: 83o(根據表面粗糙度，使用標準單切面測針*1) |
|
驅動部 | 長度基準 | X 軸 | 激光全息光柵尺 |
| Z2 軸 (立柱) | ABS 光柵尺 |
| 分辨力 | X 軸 | 0.05 µm |
| Z2 軸 (立柱) | 1 µm |
| 驅動速度 | X 軸 | 0 - 80mm/s 外加手動 |
| Z2 軸 (立柱) | 0 - 30mm/s 外加手動 |
| 測量速度 | X 軸 | 0.02 - 5mm/s |
| 直線度*2 | X 軸 | 0.8µm/100mm | 2µm/200mm |
| 傾角范圍 | X 軸 | ±45o |
|
精度
(20oC) |
CV-3200 系列 |
X 軸 | ±(0.8+0.01L)µm L = 驅動長度 (mm)
寬范圍: 1.8µm/100mm
窄范圍: 1.05µm/25mm | ±(0.8+0.02L)µm L = 驅動長度 (mm)
寬范圍: 4.8µm/200mm
窄范圍: 1.3µm/25mm |
| Z1 軸(檢出器) | ±(1.6+|2H|/100)µm H = 水平位置上的測量高度 (mm) |
|
CV-4500 系列 |
X 軸 | ±(0.8+0.01L)µm L = 驅動長度 (mm)
寬范圍: 1.8µm/100mm
窄范圍: 1.05µm/25mm | ±(0.8+0.02L)µm L = 驅動長度 (mm)
寬范圍: 4.8µm/200mm
窄范圍: 1.3µm/25mm |
| Z1 軸(檢出器) | ±(0.8+|2H|/100)µm H = 水平位置上的測量高度 (mm) |
| 外形尺寸 (W×D×H) | 主機*3 | 756×482x
966mm | 756×482x
1166mm | 1156×482
x1176mm | 766×482
x966mm | 766×482
x1166mm | 1166×482
x1176mm |
| 重量 | 主機 | 140kg | 150kg | 220kg | 140kg | 150kg | 220kg |
*1: SPH-71 (No.354884)
*2: X 軸水平位置時
*3: 主機材料為花崗巖
注: 雖然天然石材測量桌的外觀各有不同，但材料的穩定性是值得信賴的。
