人們通常把XRF環(huán)保檢測儀器在物質(zhì)上而產(chǎn)生的次級X射線叫X射線熒光(X—Ray Fluorescence)，而把用來照射的X射線叫原級X射線。
 

　　所以X射線熒光仍是X射線。一臺典型的X射線熒光(XRF)儀器由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線(一次X射線)，激發(fā)被測樣品。
 

　　受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。
 

　　探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
 

　　X射線照在物質(zhì)上而產(chǎn)生的次級 X射線被稱為X射線熒光。利用X射線熒光原理，理論上可以測量元素周期表中鈹以后的每一種元素。在實際應(yīng)用中，有效的元素測量范圍為9號元素 (F)到92號元素(U)。
 

　　X射線是電磁波譜中的某特定波長范圍內(nèi)的電磁波，其特性通常用能量(單位:千電子伏特，keV)和波長(單位:nm)描述。
 

　　X射線熒光是原子內(nèi)產(chǎn)生變化所致的現(xiàn)象。一個穩(wěn)定的原子結(jié)構(gòu)由原子核及核外電子組成。其核外電子都以各自*的能量在各自的固定軌道上運行，內(nèi)層電子(如K層)在足夠能量的X射線照射下脫離原子的束縛，釋放出的電子會導致該電子殼層出現(xiàn)相應(yīng)的電子空位。
 

　　這時處于高能量電子殼層的電子(如:L層)會躍遷到該低能量電子殼層來填補相應(yīng)的電子空位。由于不同電子殼層之間存在著能量差距，這些能量上的差以二次X射線的形式釋放出來，不同的元素所釋放出來的二次X射線具有特定的能量特性。這一個過程就是我們所說的X射線熒光(XRF)。