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Veeco美國BROOKS布魯克斯CMX0T31DNVE真空計
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優勢
? 基于PTS(Pressure，Temperature，Space)的壓力傳感技術
? 基于AI的壓力控制技術
? 全金屬耐腐蝕技術
? 高準確度及高可靠性
技術參數
| 型號 | PC100 |
| 壓力類型 | 絕壓 |
| 控制壓力的滿量程 | 1000Torr、1200mbar |
| 耐壓 | 3MPa |
| 閥口滿量程流量 | 2、3、5SLM |
| 控制方式 | 上游 |
| 溫度系數 | Zero：±0.02% of F.S./℃；Span：±0.04% of Reading/℃ |
| 壓力分辨率 | 0.1 Torr |
| 壓力控制精度 | ±1.0% of Reading(≥10%FS); ±0.2% of F.S. (<10%FS) |
| 響應時間 | < 1.0 S |
| 工作溫度范圍 | 10 ℃ ～ 50 ℃ |
| 機械接口 | 雙卡套 1/4" 、 VCR 1/4" 陽接頭 |
| 閥類型 | 常閉 |
| 外漏 | < 1 x 10-10(scc/sec He) |
| 內漏 | < 1.0% of 閥口滿量程流量 (閥關閉時，進氣端為25 psig，出氣端為大氣) |
| 供電電源 | +15 ～ +24 VDC(< 4 watts) |
| 電氣接口 | DB-9針 |
，拍前請聯系店主，
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