三次元影像測量儀：
三次元測量儀是指在一個六面體的空間范圍內，能夠表現幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，三次元測量儀又可定義“一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統（如光柵尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點（x，y，z）及各項功能測量的儀器"。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。
三次元測量儀機型簡介：
1、行程：X軸 2500 mm Y軸 1500 mm Z軸 1000 mm；
2、結構型式：三軸花崗巖、四面全環抱的德式活動橋式結構；
3、傳動方式：直流伺服系統 + 預載荷高精度空氣軸承；
4、長度測量系統：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.1μm；
5、測頭系統：雷尼紹控制器、雷尼紹測頭、雷尼紹測針；
6、機臺：高精度（00級）花崗巖平臺；
7、使用環境：溫度(20±2)℃，濕度40%-70% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h；
8、空氣壓力：0.4 MPa - 0.6 Mpa；
9、空氣流量：25 L/min；
10、長度精度MPEe：≤2.1+L/350 (μm)；
11、探測球精度MPEp：≤2.1μm；
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