廣州朗拓儀器設備有限公司
PARKER派克超高純UHP含氟聚合物超凈閥,其材質為PFA(含氟聚合物)或PTFE(聚四氟乙烯),適用于半導體液體環境應用,包括高濃度的酸和堿,明確的化學物質和漿料。
產品信息:
這些新型的、清潔的、材質為含氟聚合物的手動和氣動閥門大大提高了流量,并提供更好的增強型閥座密封,增強無泄漏性能,提供了更大的安全性。
它們旨在以更小的體積提供更高的流量。采用計算流體動力學軟件來更大化通過這些閥門的流量。這類凈化閥適用于半導體液體應用,包括高濃度酸和堿,
明確的其他化學物質和漿液。因其清潔度和擁有高度的耐化學腐蝕性能,對于其他嚴苛的市場應用,也可以使用這些閥門。
市場:
• 半導體加工
• 化學品加工
• 分析設備
• 實驗室
特點與優勢:
• 耐酸和漿料,循環使用壽命長
• 簡潔的標識,真正的上鎖掛牌設計(LOTO)
• 雙點密封提供雙倍的密封效能(申請中)
• 平滑的鉆孔和可清掃的流道,大限度地減小顆粒捕獲區域并有效減少截留區的形成
• 100%泄漏測試
• 符合SEMI-F57-0301標準
關鍵應用:
• 化學機械拋光(CMP)漿料
• 超高純度工藝
• 明確的半導體工藝化學物質
• 攪拌機系統
• 清潔系統
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