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臺階測量儀影像測量儀

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更新時間：2022-12-30 09:55:45瀏覽次數：183次

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蘇州德美鑫精密科技有限公司

經營模式：經銷商

商鋪產品：146條

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產品簡介

簡單介紹：薄膜臺階形貌、粗糙度、波紋度。

詳細介紹

詳情介紹：

測量范圍

導軌直線度：≤0.05μm/10mm(λ=0.25mm)
采數間隔：0.05μm
傳感器線性精度：0.1μm+0.2% f.s
傳感器量程/分辨率比：1：262144
輔助電子攝像單元：30萬像素
載物臺X、Y向定位精度：0.02mm
傳感器Z向移動定位精度：0.02mm
如需更多詳細產品信息，請與我們聯系！

儀器特點

采用氣浮隔振機臺隔離環境振動對測量的影響。
測力控制單元采用音圈電機實時控制以保證輕測量力。
測量時用罩殼隔離空氣流動對測量的影響。
采用電子攝像單元輔助測量調整及測量過程控制。
配置多維電動載物臺對零件測量部位進行測量。

關鍵詞：傳感器控制單元過程控制