三豐MitutoyoCS-5000CNC表面粗糙度儀
產品特點：?高精度觸針型CNC表面測量儀可以同時進行表面粗糙度和形狀/輪廓的測量。?X1軸和Z2軸的*大驅動速度分別為40mm/s和200mm/s，可以高速定位，從而提高了多重輪廓/多工件測量的效率。?X1 軸和Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺，從而可以實現高分辨力的輪廓/ 形狀測量、表面粗糙度的批量測量。?Z1軸檢出器采用主動控制方式，減少Z1軸動態測力變化的同時擴展了測量范圍。?Z1軸檢出器集成了防碰撞安全裝置，當儀器主體與工件或夾具發生碰撞時，檢測裝置可以自動停止工作。?CS-5000CNC帶有a軸，可以通過電動旋轉X1軸連續測量水平面和傾斜面。?帶有Y軸工作臺的型號，可沿Y軸進行多工件定位，從而增加了多工件測量范圍。?可選的外部控制功能(外部I/O)，與PLC實現雙向通信(RS-232C)。三豐MitutoyoCS-5000CNC表面粗糙度儀技術參數：
貨號 | CS-5000CNC | CS-H5000CNC |
X1 軸 | 測量范圍 | 200mm |
分辨力 | 0.00625µm |
長度基準 | 激光全息測微計 |
驅動速度 | CNC型 | *大40mm/s |
操縱桿 | 0 - 40mm/s |
測量速度 | 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓) |
測量方向 | 向前/ 向后 |
直線度 | (使用標準測針) | (0.1+0.0015L)µm L: 驅動長度 (mm) | (0.05+0.0003L)µm L: 驅動長度 (mm) |
(使用二倍長型測針) | (0.2+0.0015L)µm L: 驅動長度 (mm) | (0.1+0.0015L)µm L: 驅動長度 (mm) |
精度 (20oC) | ±(0.3+0.002L)µm L: 驅動長度 (mm) | ±(0.16+0.001L)µm L: 驅動長度 (mm) |
Z1 軸 (檢出器) | 測量范圍 | (使用標準測針) | 12mm | 12µm |
(使用二倍長型測針) | 24mm | 24µm |
分辨力 | (使用標準測針) | 0.004 µm | 0.001 µm |
(使用二倍長型測針) | 0.008 µm | 0.002 µm |
測針針尖垂直運動 | 弧形移動 |
長度基準 | 激光全息測微計 |
精度 (20oC) | (20oC) ±(0.3+|0.02H|)µm H: 測量高度 (mm) | ±(0.07+|0.02H|)µm H: 測量高度 (mm) |
測力 | (使用標準測針) | 4mN (固定) |
(使用二倍長型測針) | 0.75mN(固定) |
跟蹤角度 | 向上: 60o, 向下: 60o, (根據表面粗糙度) |
測針針尖形狀 | 標準測針 | 針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5µm, 金剛石針尖 |
標準球頭測針 | 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 2倍測針 |
2倍測針 | 針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5µm, 金剛石針尖 |
2倍測針 | - | 針尖角度: 60o, 針尖半徑: 2µm, 金剛石針尖 2倍球頭測針 |
2倍球頭測針 | 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 |
測針方向 | 向下 |
Z2 軸 (立柱) | 行程范圍 | Z2 軸 (立柱, S 型) | 300mm |
Z2 軸 (立柱, H 型) | 500mm- |
分辨力 | 0.05µm |
長度基準 | 反射型線性編碼器 |
驅動速度 | CNC型 | *大200mm/s |
操縱桿 | 0 - 50mm/s |
基座尺寸 (W×D) | 750×600mm |
