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霍尼韋爾/Honeywell數字式氣體質量流量傳感器HAF系列 ±50~±750SCCM

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更新時間：2024-10-07 07:39:30瀏覽次數：91次

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產品簡介

霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為的滿量程流量范圍及溫度補償范圍內讀取氣流數據提供一個數字界面。隔熱加熱器和溫度感應元件可幫助傳感器對空氣流或其他氣流做出快速響應。這些傳感器根據熱傳遞原理測量氣流的質量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機電傳感系統 (MEMS) 組成，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設計的氣流通道內，提供對于流量的可重復響應。

詳細介紹

工作特性：

特性	參數值
供電電壓	3.3Vdc ±10%；5.0Vdc±10%
供電電流	16mA
工作溫度范圍	-20~+70℃
補償溫度范圍	0~50℃
零點精度	滿量程的 ±0.02%
響應時間	1ms（典型值）
分辨率	最小12位
啟動時間	17ms
預熱時間	30ms
校準介質	氮氣
總線標準	I2C，快速模式（至400 KHZ）
零點穩定性	偏移：滿量程的±0.01%

額定參數：

特性	參數值
供電電壓	-0.3VDC-6.0VDC
輸出引腳電壓	-0.3V-輸入電壓
儲存溫度范圍	-40~+125℃
流量變化	5.0 SLPM/S
共模壓力	25PSI
流量	10 SLPM