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    上海華械自動化設備有限公司
                                
                
                
    

							
    
                       
			
    
		
    
	
    
	
	
    
		
    
            
    
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    經營模式：代理商
    
						
    商鋪產品：118條
    
						
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    聯系人：須工 （銷售經理）
    												
					
    
				
    
			
    			
    
				
    
                    技術文章
                
    
                
    
					
    
						
    真空鍍膜行業氬氣流量大小如何控制
    
						
    閱讀：268發布時間：2021-12-17
    
					
    
					
                        
    熱式氣體質量流量控制器（MFC），里面有個溫度傳感器和速度傳感器，流量大小通過高性能比例電磁閥，通過0-5V電壓調節閥芯開度大小或頻率來精確控制介質的流量大小.


     
    通過真空鍍膜行業的一些客戶了解到 ，一般使用的都是微小流量的MFC，集中在100SCCM/MIN 500SCCM/MIN 1000SCCM/MIN


    進口壓力：1Mpa 正常工作壓力：0.5Mpa MFC不受氣體的溫度和壓力影響它的精度和重復性精度，響應時間快1秒達到設定值


    一般MFC都是以氮氣標定的，如客戶需要的是測量Ar流量，出廠時，廠家就按氬氣標定好，也可提供氬氣和氮氣之間換算的比列系數
                    
    
				
    
			
    
			
    
		
    
	
    
    	
	
    
		
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