壓阻式壓力傳感器

在傳感器行業中，力、溫度、流量是應用最為廣泛的幾種傳感器。在當今快節奏的人類社會里，因科學及工程技術的高速發展，在不同的行業技術應用中對經典物理量的監測相比以往都出現了更高的頻次和不同維度的應用需求。在本文中，通過對壓阻式壓力傳感器技術、應用、產品的解析，就一些相關原理與概念做一個分享。

壓力傳感器

在測量上所稱“壓力”就是物理學中的“壓強”，反應物質狀態的一個重要參數。在壓力測量中，有表壓、絕壓（絕對壓力）、負壓、真空度之分。在工業中所用的壓力指示值大多為表壓，即絕對壓力和大氣壓力的差值，所以絕壓就是表壓和大氣壓的和。若測量壓力低于大氣壓，則稱為負壓或真空度。

測量壓力的傳感器在工作原理上分為壓阻式壓力傳感器、壓電式壓力傳感器、壓磁式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、霍爾式壓力計等。

壓阻式壓力傳感器

半導體應變片式傳感器在實際應用中被稱為壓阻式壓力傳感器，壓阻式壓力傳感器在早期利用半導體應變片粘貼在彈性體上制成。上世紀70年代后期，研制出了周邊固定的力敏電阻和硅膜一體化的擴散型壓阻式壓力傳感器，克服了粘貼帶來的滯后、蠕變及固有頻率較低和集成化困難的缺點，且把應變電阻條和誤差補償、信號調理等電路集成在一塊硅片上。

壓阻式壓力傳感器的主要特點是結構尺寸小、重量輕、易集成，擁有超高的靈敏度和分辨率，適合對微小壓力進行檢測。但由于它采用半導體硅材料制成，對溫度敏感，如不采用溫度補償，溫度誤差會很大。

壓阻式壓力傳感器應用

由于壓阻式壓力傳感器具備一系列優點，在航天、航海、石油化工、醫療設備、氣象、軍事裝備中都得到了廣泛應用。