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ALICAT 雙向質量流量控制器
采用內部補償型層流壓差技術,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異,并對用戶標準工況進行修正。雙向型質量流量控制器可通過定制化的高速比例調節閥,正向或反向精確測量與控制過程氣體的質量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設計模式,一臺閥門專門用于控制進氣、另一臺用于排氣。
ALICAT 雙向質量流量控制器
美國ALICAT 雙向型質量流量控制器,采用內部補償型層流壓差技術,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異,并對用戶標準工況進行修正。雙向型質量流量控制器可通過定制化的高速比例調節閥,正向或反向精確測量與控制過程氣體的質量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設計模式,一臺閥門專門用于控制進氣、另一臺用于排氣,實現了僅用一臺設備便可同時控制開放式或密閉容器內上游、下游端流量,以及正壓、背壓。
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