霍爾壓力傳感器是基于某些半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)制成的。霍爾效應(yīng)是指當(dāng)固體導(dǎo)體放置在一個磁場內(nèi),且有電流通過時(shí),導(dǎo)體內(nèi)的電荷載子受到洛倫茲力而偏向一邊,繼而產(chǎn)生電壓(霍爾電壓)的現(xiàn)象。電壓所引致的電場力會平衡洛倫茲力。通過霍爾電壓的極性,可證實(shí)導(dǎo)體內(nèi)部的電流是由帶有負(fù)電荷的粒子(自由電子)之運(yùn)動所造成。
在導(dǎo)體上外加與電流方向垂直的磁場,會使得導(dǎo)線中的電子受到洛倫茲力而聚集,從而在電子聚集的方向上產(chǎn)生一個電場,此電場將會使后來的電子受到電力作用而平衡掉磁場造成的洛倫茲力,使得后來的電子能順利通過不會偏移,此稱為霍爾效應(yīng)。而產(chǎn)生的內(nèi)建電壓稱為霍爾電壓。
當(dāng)磁場為一交變磁場時(shí),霍爾電動勢也為同頻率的交變電動勢,建立霍爾電動勢的時(shí)間極短,故其響應(yīng)頻率高。理想霍爾元件的材料要求要有較高的電阻率及載流子遷移率,以便獲得較大的霍爾電動勢。常用霍爾元件的材料大都是半導(dǎo)體,包括N型硅(Si)、銻化銦(InSb)、砷化銦InAs)、鍺(Ge)、砷化鎵GaAs)及多層半導(dǎo)體質(zhì)結(jié)構(gòu)材料,N型硅的霍爾系數(shù)、溫度穩(wěn)定性和線性度均較好,砷化鎵溫漂小,目前應(yīng)用。在使用的霍爾式壓力傳感器中,均采用恒定電流I,而使B的大小隨被測壓力戶變化達(dá)到轉(zhuǎn)換目的。
1)壓力一霍爾片位移轉(zhuǎn)換將霍爾片固定在彈簧管自由端.當(dāng)被測壓力作用于彈黃管時(shí),把壓力轉(zhuǎn)換成霍爾片線性位移。
2)非均勻線性磁場的產(chǎn)生為了達(dá)到不同的霖爾片位移,施加在霍爾片的磁感應(yīng)強(qiáng)度 B不同,又保證霍爾片位移一磁感應(yīng)強(qiáng)度B線性轉(zhuǎn)換,就需要一個非均勻線性磁場。非均勻線性磁場是靠極靴的特殊幾何形狀形成的。
3)霍爾片位移-霍爾電勢轉(zhuǎn)換
當(dāng)霍爾片處于兩對極靴間的平衡位置時(shí),由于霍爾片左右兩半所通過的磁通方向相反、大小相等,互相對稱,故在霍爾片左右兩半上產(chǎn)生的霖爾電勢也大小相等、極性相反。
因此,從整塊霍爾片兩端導(dǎo)出的總電勢為零,當(dāng)有壓力作用,則翟爾片偏離極靴間的平衡位置。橄爾片兩半所產(chǎn)生的兩個極性相反的電勢大小不相等,從整塊霍爾片導(dǎo)出的總電勢不為零.壓力越大,輸出電勢越大.沿霍爾片偏離方向上的磁感應(yīng)強(qiáng)度的分布呈線性狀態(tài),故霍爾片兩端引出的電勢與報(bào)爾片的位移成線性關(guān)系.即實(shí)現(xiàn)了霍爾片位移和報(bào)爾電勢的線性轉(zhuǎn)換。
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