質朋儀器貿易（上海）有限公司
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閱讀：753發布時間：2021-10-14
導讀：本文主要介紹非接觸式光學形貌測量中遇到的常見難題，包括測量速度和精度的取舍、過高的傾斜角度、*或極低的表面反射率等等情況。
光學測量具有不接觸樣品、不留下測量痕跡、速度快等等各種優點，但世界上沒有任何一種技術是的，今天為大家普及一下光學測量可能會遇到的常見難題，以供在調研和購買階段參考。
首先，測量領域要始終牢記的一點是“速度和精度不可兼得"。一般來說，測量速度越快，測量精度就越值得質疑，數據的可信性也越值得推敲。想想看，你的眼睛也可以看做一臺相當精密的量測儀器，但是在你迅速跑動的過程中，你看東西的清晰度如何呢？
其次，光學測量在針對傾斜角度很高的區域時，數據經常會失真。例如你要測量硅片上的電極，這些電像是“凸"字的上半邊，基板是下半邊。傳感器一般是垂直于樣品表面的，光到達凸字最上邊的“一"，可以很好地反射回去；但到了兩邊的“丨"，大部分光就會被反射到不知道什么地方去了，只有少量的光能返回去被轉化成數字信號。下圖中圈出的角度越接近90°，測量就越困難，數據也越容易失真。
再次，需要知道的是，測量是一回事，解析又是一回事。市場上很多光學測量儀器精度可能不夠，無法測量你的樣品，但是測量軟件上展示出來的結果卻很平滑很漂亮，為什么呢？這無非是在輸出測量結果的數據或者圖形之前，軟件已經進行了數學計算和算法處理，給你看的結果，是加了“濾鏡"處理過的而已。
最后，光學測量靠的是光的各種原理，例如折射、反射、穿透、干涉等等；同時，所使用的光源也多種多樣：白光、激光、X-Ray、LED，不一而足。不同的光源具有不同的波長，面對不同材質的樣品時，其測量效果也會不一樣。半導體、光學元器件等等行業的產品，其材質對光具有不同的吸收曲線（Absorption Curve），或者高低不同的反射率、折射率，這些因素都會影響最終的測量結果。這也是為什么很多時候光看彩頁上的參數是不夠的，實際測量樣品的結果才說服力。
使用者的測量需求千差萬別，綜合考量精度、速度、預算等各個方面的狀況，才能找到的儀器。但市場上的產品種類繁多，令人眼花繚亂，找到對的人幫您推薦合適的產品，能節省您大量的時間和精力。
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關鍵詞：臺階儀 | 光學形貌儀 | 三維表面形貌 | 表面粗糙度儀
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