質朋儀器貿易（上海）有限公司
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閱讀：813發布時間：2021-10-14
導讀：FP3030是日本精密測量儀器行業產、學、研三方面緊密合作的研究成果，為微細深孔測量帶來了可靠而高效的解決方案。
在精密測量領域，有一項特殊的測量任務，無論對接觸式探針測量還是非接觸式光學測量都是極大的挑戰——“深孔"測量。面對極小寬深比的深孔，接觸式測量往往會因為測針直徑過粗或者針尖角度過大的限制，無法深入測量，或不能測量側壁粗糙度；非接觸式光學測量則會因為光的干涉、無法對焦、無法收回足夠的光量與數據點等原因而檢測失敗。基于特點的相似性，溝槽的測量也面臨此困境。與此同時，帶有深孔和溝槽的工件和產品分布廣泛，是半導體、汽車等行業生產中難以避開的環節，具有相當大的潛在需求。針對這一測量難題，株式會社小坂研究所和日本大學、研究院緊密合作，成功研發了微細孔3D形狀測定機FP3030，現已正式投入生產并面向市場。
FP3030使用高彈性光纖維測針，結合激光、三棱鏡與光電二極管共同構成傳感測量裝置。未測量狀態下，光電二極管受光量均一；測量狀態下，測針進入深孔，以圓周型軌跡接觸深孔側壁采集數據，由于測針位置的變化，光電二極管受光量發生變化，FP3030由此測量出深孔內部的表面形貌。
藉由質輕且纖細的高彈性光纖維測針，FP3030能以微小的測定力測量直徑最小10um，300um的深孔內部形狀，垂直分辨率達到10nm。具體測量應用包括：①深孔的內徑、外徑、深度；②溝槽的內寬、外寬、深度、側壁形狀。同時，FP3030測量軟件具有真圓度、圓柱度、直徑、臺階、槽寬、直角度、粗糙度多種參數解析功能。
針對孔徑為80um的微細深孔，FP3030測量其內徑的重復精度在20nm以下：
孔徑10um，孔間距為20um，深度為0-140um的微細深孔測量實例：
以下是FP3030微孔形狀測量的部分實際應用舉例：（一）半導體封裝TSV（Through Silicon Via，硅通孔技術）的側壁粗糙度測量，孔徑為10um，深度為100-500um；（二）汽車燃料噴嘴口形狀測量，孔徑10-100um；（三）打印機油墨噴嘴口內部形狀測量，孔徑為數十微米；（四）紡織機械線嘴內部形狀測量，孔徑10-100um。
歡迎致電質朋儀器貿易（上海）有限公司，我們樂意為您提供詳細的深孔測量產品彩頁與技術交流。
關鍵詞：深孔測量 | 微細孔測量 | 深度測量 | 寬深比
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