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表面輪廓儀傳遞函數對超光滑表面粗糙度測量的影響

閱讀：127發布時間：2021-10-14

參考文獻：光學精密工程

摘要：

表面粗糙度是表征光學元件表面質量的一個重要指標 ,這使得人們不斷致力于改進表面粗糙度的測量技術 ,以提高其測量精度。然而很多實驗表明 ,在對超光滑表面粗糙度進行測量時 ,對于同一個表面 ,不同類型的表面輪廓儀通常會給出不同的結果 ,這使得測量結果之間的可比性成為問題。針對這種情況 ,本文運用線性系統理論方法 ,分析了表面輪廓儀的帶寬對表面粗糙度測量的影響 ,并用離散傅里葉變換方法計算了表面粗糙度測量值隨表面輪廓儀帶寬的變化。結果表明 ,表面輪廓儀的帶寬對表面粗糙度測量有著重要影響 ,輪廓儀的帶寬越寬 ,則給出的測量值越大 ,也越接近真實值。因此對兩種不同類型的輪廓儀測得的結果一般不能直接進行比對。

關鍵詞：光潔度測量 超光滑表面 傳遞函數 線性系統

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