擴散硅傳感器是將被測介質的兩種壓力通入高、低兩壓力室，低壓室壓力采用大氣壓或真空，作用在δ元件(即敏感元件)的兩側隔離膜片上，通過隔離片和元件內(nèi)的填充液傳送到測量膜片兩側。
該壓力傳感器是由測量膜片與兩側絕緣片上的電極各組成一個電容器。當兩側壓力不一致時，致使測量膜片產(chǎn)生位移，其位移量和壓力差成正比，故兩側電容量就不等，通過振蕩和解調環(huán)節(jié)，轉換成與壓力成正比的信號。
下面小編要為大家介紹的是擴散硅傳感器所具備的特點：
1、適合制作小量程的傳感器
硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點附近的低量程段無死區(qū)，制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。
3、精度高。由于傳感器的感受、敏感轉換和檢測三部分由同一個元件實現(xiàn)，沒有中間轉換環(huán)節(jié)，重復性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。
2、輸出靈敏度高
硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50～100倍，故相應的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求，使用比較方便。
4、由于工作單性形變低至微應變數(shù)量級，彈性芯片大位移在亞微米數(shù)量級，因而無磨損，無疲勞，無老化，壽命長達1×103壓力循環(huán)，性能穩(wěn)定，可靠性高。
5、由于硅的優(yōu)良化學防腐性能，即使是非隔離型的擴散硅傳感器，也有相當程度的適應各種介質的能力。芯片采用集成工藝，又無傳動部件，因此體積小，重量輕。
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