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株洲三氟化氮檢測(cè)儀易成創(chuàng) YCC-GS101-NF3 等離子蝕刻氣體探測(cè)器

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深圳市易成創(chuàng)科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

檢測(cè)氣體：三氟化氮NF3檢測(cè)原理：電化學(xué)原理檢測(cè)方式：在線式長(zhǎng)期連續(xù)檢測(cè)，擴(kuò)散式的檢測(cè)方式

詳細(xì)介紹

檢測(cè)氣體：	三氟化氮NF3
檢測(cè)原理：	電化學(xué)原理
檢測(cè)方式：	在線式長(zhǎng)期連續(xù)檢測(cè)，擴(kuò)散式的檢測(cè)方式；
	在線式連續(xù)檢測(cè)，通過(guò)外置氣泵，實(shí)現(xiàn)泵吸式的流通檢測(cè)方式（氣泵選配）；
測(cè)量范圍：	0-10ppm、20ppm、50ppm、100ppm、200ppm（可選，未列出量程可訂制）
分辨率：	0.01ppm（0-100ppm）、0.1ppm（100-1000ppm）、1ppm（1000ppm以上）
精度：	≤±3%（實(shí)際濃度，更高精度要求根據(jù)傳感器性能定）
操作方式：	紅外遙控器遠(yuǎn)、近距離操作、方便設(shè)置
重復(fù) 性：	≤±1%
零點(diǎn)漂移：	≤±1%（F.S/年）
響應(yīng)時(shí)間：	≤60秒（T90）
恢復(fù)時(shí)間：	≤20秒
防爆標(biāo)志：	Exd II CT6 GB
防護(hù)等級(jí)：	IP66
輸出信號(hào)：	用戶可根據(jù)實(shí)際現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境需求而定，最遠(yuǎn)可傳輸2000米（單芯1mm2屏蔽電纜）
	三線制4-20mA電流信號(hào)輸出，可連接報(bào)警控制器、PLC、DCS 等各種控制系統(tǒng)（標(biāo)準(zhǔn)配置）
	數(shù)字信號(hào)RS-485輸出，ModBus RTU通訊協(xié)議（選配功能）
	頻率信號(hào)200~1000Hz輸出（選配功能）
	一組繼電器輸出（選配二組）：無(wú)源觸電容量220VAC 0.5A或5VDC 0.5A
	通過(guò)無(wú)線模塊功能可以實(shí)現(xiàn)檢測(cè)數(shù)據(jù)的遠(yuǎn)程傳輸和狀態(tài)報(bào)警(選配功能)；可實(shí)現(xiàn)以太網(wǎng)的接入
主體材質(zhì)：	殼體：ADC12鋁合金，堅(jiān)固，耐磨耐腐蝕（可選配316不銹鋼殼體）
	氣室：采用高強(qiáng)度耐磨耐腐蝕鋁型材，堅(jiān)固耐用（可選配316不銹鋼氣室）
安裝方式：	壁掛管道一體式（管道式外螺紋規(guī)格:M45X1.5mm，可選配管道轉(zhuǎn)接螺絲接頭，可焊接）
工作溫度：	-20℃～+50℃（特殊要求需定制）
相對(duì)濕度：	10%～95%RH
供電電源：	24V DC（正常工作電壓范圍12～30VDC）
功耗：	1.5W
工作壓力：	86~106Kpa
尺　　寸：	175mm142mm95mm（高寬厚）
重量：	約1.6Kg
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：	GB15322.1-2003，GB3836.1-2010，GB3836.2-2010，GB3836.4-2010
質(zhì)量保證：	質(zhì)保期壹年，保修期內(nèi)免費(fèi)維修。