儀器簡介：日本精工膜厚儀SFT-9300系列
為了滿足測量微小區域及高精度的需求，安裝了“SFT”優秀的75W高功率X射線管。
快速的對應日益微小化的電子產品，更擴大了X射線熒光鍍層厚度測量儀的應用。
技術參數日本精工膜厚儀SFT-9300系列
序號 | 項 目 | 參 數 |
1 | 可測量元素 | 原子序數22(Ti)～83(Bi) |
2 | X射線源 | 小型空氣冷卻型高功率X射線管球(Mo靶)
管電壓： 50kV 管電流： 1.5mA Be 窗 |
3 | 濾波器 | 一次濾波器：Mo 二次濾波器：Co (自動切換) |
4 | 照射方式 | 上方垂直照射方式 |
5 | 檢測器 | 比例計數管 |
6 | 準直器 | 方型：0.025×0.2mm 0.2×0.025mm
圓形：Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm |
7 | 安全性能 | 樣品室門自鎖功能、樣品防沖撞功能、自動診斷功能 |
8 | 樣品圖像對焦方式 | 激光自動對焦 |
9 | 樣品觀察 | 彩色CCD攝像頭 倍率光學器 鹵素燈照明 |
10 | 樣品平臺大小及重量 | SFT9300:240mm(W) ×170mm(D) 10kg SFT9350:420mm(W) ×330mm(D) 5kg SFT9355:700mm(W) ×600mm(D) 3kg |
11 | 重 量 | SFT9300/SFT9350:125kg (不含電腦)SFT9355:130kg(不含電腦) |
12 | 修正功能 | 底材修正、已知樣品修正、人工輸入修正 |
13 | 測量報告書制作 | 配備MS-EXCEL® MS-WORD®(使用宏支持自動制作測量報告書) 測量能譜與樣品圖像保存功能 |
主要特點：
1.75W高功率X射線管
能夠提高X射線的生產效率，實現高精度的測量，有效縮短測量時間，只需過去的1/4
2.超微小型準直器
除了搭載了標準配置的50μm準直器，還配備了測量微小部位用的15μm準直器
對應所選擇準直器的實際X射線光束照射的尺寸，可以顯示在樣品畫面上
3.倍率式光學系
可以準確地對微小部分進行對焦，還可以對應各測量點間有高低的樣品
4.實現了高精度自動X-Y-Z樣品臺與圖像處理軟件的高速自動測量
5.擁有防沖功能
6.搭載高精度樣品平臺，更可測量大型線路板(SFT9355)
7.自動對焦功能
配備激光自動對焦功能，能夠準確對焦，提高測量效率。
8.即時生成測量報告的便捷性
運用搭載的Microsoft Word® Excel® 可以簡單輕松得到制作報告。
9.搭載了高功率X射線管
10.擁有自動測量軟件以及中心搜索軟件
11.搭載了薄膜FP法軟件、圖像處理軟件以及塊體FP法軟件
(1).可實現高精度幾高效率的微小樣品檢測小樣品尺寸直徑3.5um
(2).容易決定微小測量部位
(3).影像對焦系統
(4).凹凸樣品的凹下部位的測量
(5).再現性佳
