儀器簡介：日本精工膜厚儀SFT-9400系列
SFT9000系列中高級的機型「SFT9400系列」
搭載有75W高功率X射線管與雙檢測器(半導體檢測器+比例計數管)，能滿足“薄膜鍍層”、“合金鍍層”、“超微小面積測量”等鍍層厚度測量需求的高性能鍍層厚度測量儀。
此外，SFT9400系列還在測量鍍層厚度的基礎上，新增了可對不同被測物體積材料進行定性分析和成分分析的功能。
技術參數日本精工膜厚儀SFT-9400系列
序號 | 項 目 | 參 數 |
1 | 可測量元素 | 原子序數22(Ti)～83(Bi) |
2 | X射線源 | 小型空氣冷卻型高功率X射線管球(Mo靶)
管電壓： 50kV 管電流： 1.5mA Be 窗 |
3 | 濾波器 | 一次濾波器：Mo |
4 | 照射方式 | 上方垂直照射方式 |
5 | 檢測器 | 比例計數管+半導體檢測(無需液氮) |
6 | 準直器 | 圓形：Φ0.015mm Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm |
7 | 安全性能 | 樣品室門自鎖功能、樣品防沖撞功能、自動診斷功能 |
8 | 樣品圖像對焦方式 | 激光自動對焦 |
9 | 樣品觀察 | 彩色CCD攝像頭 倍率光學器 鹵素燈照明 |
10 | 樣品平臺大小及承重 | SFT9400:240mm(W) ×170mm(D) 10kg SFT9450:420mm(W) ×330mm(D) 5kg SFT9455:700mm(W) ×600mm(D) 3kg |
11 | 重量 | SFT9400/SFT9450:125kg (不含電腦)
SFT9455:130kg(不含電腦) |
12 | 修正功能 | 底材修正、已知樣品修正、人工輸入修正 |
13 | 測量報告書制作 | 配備MS-EXCEL® MS-WORD®(使用宏支持自動制作測量報告書) 測量能譜與樣品圖像保存功能 |
主要特點：
1. 搭載有高功率X射線管及雙檢測器(半導體檢測器+比例計數管)
可對應組合復雜的應用程序，特別是可識別Ni和Cu之類能量較為接近的元素。
能夠對Ni/Cu和Au/Ni/Cu在不使用二次濾波器的情況下進行測量
對于含Br的電路板，可以不受Br的干擾對Au的鍍層厚度進行高精度的測量
可測量0.01μm以下的超薄的Au鍍層厚度
2. 搭載塊體FP發軟件和薄膜FP法軟件
對應含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等，適用于廣泛的運用領域
3. 適用超微小面積的測量
標準配備的15μmΦ的準直器，可對超微小面積進行測量。
4. 搭載了可3段切換的變焦距光學系統
5. 搭載高精度樣品平臺，更可測量大型線路板(SFT9455)
6. 自動對焦功能
配備激光自動對焦功能，能夠準確對焦，提高測量效率。
7. 搭載測試報告自動生成軟件
