高分辨率掃描電鏡AIS2500C配備了LaB6，以便獲得高分辨率掃描電鏡SEM圖像。它采用Mu金屬合金用于***小化放大和升級的屏蔽和耐久性65°錐形物鏡,實現寬樣本的高分辨率圖像。
高分辨率掃描電鏡特點
安裝65°錐形透鏡（適用于寬試樣）
提供分辨率和高像素分辨率圖像
安裝了超快掃描控制驅動程序
提供多任務窗口
允許大數據處理、存儲和歸檔
通過自動分級和平鋪
高性能分析軟件和測量軟件
高分辨率掃描電鏡規格參數
光學系統參數
分辨率：2nm@30KV SE探測器，3nm@BSE探測器
放大倍率：10x~1,00,000x
圖像：二次電子圖像SEI, 可選背向散射電子圖像BEI， TSEM圖像
加速電壓：0.6kv~30kv
電子槍類型：LaB6絲陰極
電子槍準直：自動
冷凝器鏡頭：電磁2級
物鏡鏡頭：65度椎鏡頭
圖像移動：350x350um (XY), 360度旋轉
探測器： SE探測器
自動功能：自動電子槍準直，自動聚焦，自動對比度亮度，發射電流等
顯示： 640x480(area 模式）， 960x640, 1024x768, 2048x 1536（檢查模式）， 圖片模式（2048x1536~8192x6144）
圖像分析：Multi-Focusing/ Image Tiling/ 3D-View/Enhancement/ Color Transformation/ Filters/ Histogram, Point Measurement, Various Image Filter, AOI(Area-ofInterest) & etc.
位移臺參數
XYZ位移范圍：60,70,65mm
tilt傾斜：-20~60度
旋轉：360度
類型：手動5軸位移臺 （可選3軸電動位移臺）
選配真空系統
高真空模式：10^-5 Torr
可選配器件：EDS, BSE, TSEM, 3D reconstruction S/W等
