孚光精儀（中國）有限公司
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產(chǎn)品型號FPPIE-EM-KLEEN
品 牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
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更新時(shí)間：2023-09-12 12:44:48瀏覽次數(shù)：250次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 儀表網(wǎng)電鏡原位等離子體清潔器EM-KLEEN可用于電子顯微鏡和分析儀器（如SEM、FIB、TEM、XPS和SIMS）的樣品和真空室的原位清潔
電鏡原位等離子體清潔器EM-KLEEN可用于電子顯微鏡和分析儀器（如SEM、FIB、TEM、XPS和SIMS）的樣品和真空室的原位清潔。它可以有效去除高真空或超高真空室內(nèi)的碳?xì)浠衔锖头蓟衔镂廴荆岣?**終真空水平，減少泵停機(jī)時(shí)間。它還可以在表面成像和分析之前去除樣品表面的有機(jī)污染物。
電鏡原位等離子體清潔器由一個(gè)帶嵌入式微型計(jì)算機(jī)的電阻式LCD觸摸屏控制器和一個(gè)遠(yuǎn)程等離子體源組成。應(yīng)在待清潔的真空室上安裝遠(yuǎn)程等離子體源。標(biāo)準(zhǔn)真空接口端口為NW/KF40法蘭。可提供用于不同SEM端口的適配器。還提供CF2.75〃法蘭選項(xiàng)。
電鏡原位等離子體清潔器EM-KLEEN是一種全自動(dòng)等離子體源。設(shè)計(jì)直觀，用途廣泛。盡管EM-KLEEN遠(yuǎn)程等離子體源體積小，但它集成了Pirani壓力傳感器、電子可變氣體流量控制器、等離子體強(qiáng)度傳感器、溫度傳感器和冷卻風(fēng)扇。流量控制器自動(dòng)調(diào)節(jié)氣體流速，以保持等離子體清潔器室內(nèi)的配方壓力。該控制器可以存儲(chǔ)多達(dá)60個(gè)具有不同射頻功率、等離子體管壓力、氣體流速和清潔持續(xù)時(shí)間的配方。不同配方無需手動(dòng)調(diào)整。微型壓力傳感器不斷監(jiān)測樣品室的壓力。它可以用作安全操作模式下的安全聯(lián)鎖觸發(fā)器，并為SmartSchedule計(jì)數(shù)樣本加載事件™ 特色冷卻風(fēng)扇可實(shí)現(xiàn)高功率高速清潔，而不會(huì)導(dǎo)致電源過熱。溫度傳感器提供了另一個(gè)聯(lián)鎖保護(hù)，防止在高功率下長時(shí)間清潔時(shí)電源過熱。等離子體強(qiáng)度傳感器實(shí)時(shí)測量等離子體強(qiáng)度。
電鏡原位等離子體清潔器特點(diǎn)
在極低壓力下瞬間點(diǎn)燃等離子體。用戶無需擔(dān)心等離子體是否點(diǎn)燃。無需手動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕來點(diǎn)燃EM-KLEEN上的等離子體。
帶壓力傳感器反饋控制的電子可變氣體流量控制。用戶可以直接不同的工作壓力源。等離子體清潔器將通過壓力傳感器提供的伺服反饋控制回路自動(dòng)調(diào)節(jié)氣流，從而保持設(shè)定壓力。
等離子體探針監(jiān)測等離子體強(qiáng)度，以指導(dǎo)用戶設(shè)置***佳配方。***佳氣體流量可以隨著不同的系統(tǒng)泵送速度和腔室尺寸而變化。我們的等離子體清潔器為用戶提供了以電子方式改變氣流的自由度，并根據(jù)等離子體強(qiáng)度傳感器的反饋*化源壓力
0-75瓦射頻功率，頻率為13.56MHz。射頻功率可按1瓦間隔調(diào)整。
帶有觸摸屏用戶界面的微型計(jì)算機(jī)。
直觀的遠(yuǎn)程PC通過RS232/RS485協(xié)議控制用戶界面。
智能“安全操作模式”和“專家操作模式”，帶有用戶自定義的警告信息。如果許多沒有經(jīng)驗(yàn)的用戶共享電子或離子顯微鏡，這是一個(gè)非常有用的功能。
微型計(jì)算機(jī)上可自定義的SmartScheule功能可以自主管理您的系統(tǒng)。
支持60種可定制的配方，具有不同的射頻功率瓦數(shù)、等離子體管壓力、氣體流速和清潔持續(xù)時(shí)間。
主動(dòng)風(fēng)扇冷卻，實(shí)現(xiàn)高功率高速清潔。
易于攜帶的控制器。該系統(tǒng)可以很容易地在不同的系統(tǒng)之間移動(dòng)。
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