孚光精儀(中國)有限公司
薄膜測厚儀TohoSpec3100是高精度薄膜厚度測量系統,采用小光斑光譜反射計獲得薄膜厚度信息,可靠的固態線性二極管陣列可快速、精確地測量單層薄膜,如氧化物、氮化物和光刻膠,以及厚度范圍為100至30m的多達3層薄膜堆疊的頂層
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