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3D光學(xué)輪廓儀

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產(chǎn)品型號(hào)FPNAN-NV

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更新時(shí)間：2023-09-12 12:34:05瀏覽次數(shù)：508次

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孚光精儀（中國）有限公司

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產(chǎn)品簡介

3D光學(xué)輪廓儀是具有白光干涉和相移干涉技術(shù)的表面形貌儀,具有高掃描速度,垂直分辨率高達(dá)亞納米0.1nm,從而具有三維臺(tái)階儀功能

詳細(xì)介紹

3D光學(xué)輪廓儀是具有白光干涉和相移干涉技術(shù)的表面形貌儀,具有高掃描速度,垂直分辨率高達(dá)亞納米0.1nm,從而具有三維臺(tái)階儀功能。
3D光學(xué)輪廓儀NV系列具有探針/傾斜功能，能夠測量甚至高度傾斜的表面。可以虛擬測量任何表面，并立即顯示生動(dòng)的3D圖像，如紋理,粗糙度,透明的樣品等等。
3D光學(xué)輪廓儀特點(diǎn)
白光掃描干涉技術(shù)-非接觸、無損、快速測量
觸針儀器不能測量小于觸針直徑的微凹凸。白光干涉測量法可以測量微幾何形狀的表面粗糙度由于微小的光斑尺寸而具有相當(dāng)高的分辨率。
移相干涉技術(shù)
相移干涉測量法是一種成熟的技術(shù)用于依賴于在受控相移期間獲取的干擾數(shù)據(jù)，大多數(shù)通常由受控的機(jī)械振蕩引起干擾物鏡,它提供具有典型高度測量的完整3D圖像,重復(fù)精度高達(dá)1nm。
區(qū)域掃描強(qiáng)度測量方法
與掃描視場中每個(gè)點(diǎn)的方法不同，WSI具有通過測量來減少測量時(shí)間的*點(diǎn)區(qū)域掃描

輪廓儀的粗糙度測量功能

高可追溯性和重復(fù)精度
通過美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院認(rèn)證的超大規(guī)模集成電路步長標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行校準(zhǔn)。實(shí)現(xiàn)的精度和作為高度測量系統(tǒng)的可重復(fù)精度。

光學(xué)輪廓儀的臺(tái)階高度測量功能
**的軟件
給出臺(tái)階高度,粗糙度并進(jìn)行3D數(shù)據(jù)分析
圖像縫合功能
表面形貌分析
表面顏色和強(qiáng)度分析
灰度圖像,二進(jìn)制圖像,彩色圖像分析
高光譜圖像分析
3D粗糙度分析
3D光學(xué)輪廓儀規(guī)格參數(shù)

型號(hào)	NV-1800	NV-2400	NV-2700	NV-3200
測量技術(shù)	白光干涉/移相干涉	白光干涉/移相干涉	白光干涉/移相干涉	白光干涉/移相干涉
FOV鏡頭	1x	1x	4位電動(dòng)物鏡塔臺(tái)	4位電動(dòng)物鏡塔臺(tái)
干涉物鏡	單鏡頭	5鏡頭（手動(dòng)）	5鏡頭（電動(dòng)）	5鏡頭（電動(dòng)）
照明	白光LED照明	白光LED照明	白光LED照明	白光LED照明
掃描范圍	<=270um	<=270um	<=270um	<=270um
掃描速度	7.2微米/秒	12微米/秒	12微米/秒	12微米/秒
Tip/tilt	+/-3度（位移臺(tái)tip/tilt）	探針+/-6度手動(dòng)傾斜	探針+/-6度電動(dòng)傾斜	探針+/-6度電動(dòng)傾斜
垂直分辨率	白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm	白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm	白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm	白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm
橫向分辨率	0.2~4um	0.2~4um	0.2~4um	0.2~4um
臺(tái)階高度重復(fù)精度	0.2%@1sigma	0.1%@1sigma	0.1%@1sigma	0.1%@1sigma
XY行程	70x50mm手動(dòng)	100x100mm電動(dòng)	100x100mm電動(dòng)	300x300mm電動(dòng)
Z行程	30mm手動(dòng)	100mm手動(dòng)	100mm電動(dòng)	100mm電動(dòng)
位移臺(tái)尺寸	90x90mm	230x230mm	230x230mm	445x445mm
FOV鏡頭可選	0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x	0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x	0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x	0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x
干涉鏡頭可選	2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x	2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x	2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x	2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x