激光微納加工系統是始終是為激光微細加工設計的皮秒激光工作站,滿足各種工藝級微加工需要。 激光微納加工系統對激光系統的控制技術滿足工業標準中的模塊化現場總線系統。系統設計的模塊化還允許集成用于批量生產的部件進給的處理系統。 主要規格參數 機器框架部分:機器框架用于激光微加工,帶有交叉工作臺的剛性雙C型框架結構;鏡像設計的機器門方向、操作員面板和抽吸裝置連接器 選項:花崗巖Granit 電控軸參數:Motorized machine axes: XY cross table, Z stage (vertical mounted, brake) Working area: typ. 210 mm x 290 mm x 200 mm Repeatability: ± 0.02 mm to ± 1 micron Speed: up to 200 mm/s Type: linear direct drive or ball screw 光學掃描鏡:高精度掃描鏡片,物鏡焦距:f=60-160mm 激光器:固態皮秒激光器,飛秒激光器等