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    行業(yè)產(chǎn)品
    
							
						
    
						
      
							
    • 行業(yè)產(chǎn)品
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    孚光精儀（中國）有限公司
                                
                
                
    

							
    
                       
			
    
		
    
	
    
	
	
    
		
    
            
    
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    ???????感應(yīng)耦合反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)
    
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    參  考  價(jià)面議  
    
					                    
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
    
				
    
				
				
    
						
    
							
    產(chǎn)品型號(hào)FPTOR-ICPRIE
    
							
    品       牌
    
		                    
    廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
    
		                    							
    所  在  地
    
						
    
                        
                    
    
					 							        										
    聯(lián)系方式：陳小姐查看聯(lián)系方式
    
									                                                 
    
						
    
							
    
								更新時(shí)間：2023-03-30 11:37:32瀏覽次數(shù)：314次
							
    
							聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 儀表網(wǎng)
						
    
				
    
				
			
    
            
						
    
			
    
						
    
				
				
    
					
					
    
						
    
                                                        
                                                    
    
						
    經(jīng)營模式：經(jīng)銷商
    
						
    商鋪產(chǎn)品：1482條
    
						
    所在地區(qū)：
    
						
    聯(lián)系人：陳小姐 （銷售）
    												
					
    
				
    
			
    			
    
                                
    
                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
    
				
    
                      
    
                                                                      
    
					
    感應(yīng)耦合反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)ICPRIE由射頻電源感應(yīng)產(chǎn)生等離子體,以產(chǎn)生各向異性蝕刻
    
				
    
				
    
                    詳細(xì)介紹
                
    
			    
    
			        
    
			                                     
    感應(yīng)耦合反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)ICPRIE由射頻電源感應(yīng)產(chǎn)生等離子體,以產(chǎn)生各向異性蝕刻。在基本ICP-RIE蝕刻系統(tǒng)中，射頻直接連接到用作電極的樣品臺(tái)，產(chǎn)生各向同性等離子體。ICPRIE刻蝕系統(tǒng)有時(shí)被稱為桶型蝕刻機(jī)。
     最初的ICP反應(yīng)器由石英管組成，射頻線圈纏繞在石英管周圍，以產(chǎn)生等離子體，從而產(chǎn)生各向異性蝕刻。感應(yīng)耦合反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)ICPRIE有多種類型，其中一種重要類型是將電容耦合偏壓與樣品臺(tái)相結(jié)合，以實(shí)現(xiàn)電感耦合RF等離子體蝕刻特性的工藝控制。應(yīng)用包括電介質(zhì)材料的干蝕刻。
     感應(yīng)耦合反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)ICPRIE詳情請(qǐng)聯(lián)系我們索取。
                            
                                                                 
                                 
			        
    
			    
    
                                                				
			
    
			
    
		
    
	
    
	
    
    
		
    
			
    
				
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