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電子束蒸發系統

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產品型號FPTOR-EB-4P

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更新時間：2023-03-30 11:26:22瀏覽次數：82次

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產品簡介

電子束蒸發系統EB-4P也是電子束沉積系統,有四個容量不同的袖珍坩堝和各種電源

詳細介紹

電子束蒸發系統EB-4P也是電子束沉積系統,有四個容量不同的袖珍坩堝和各種電源。
電子束蒸發系統EB-4P可定制,腔室可以設計成接受額外的PVD源。未使用的端口用法蘭堵塞，以便以后添加。準備好后，可以添加熱阻源或直流和射頻濺射或蝕刻。
電子束蒸發系統EB-4P是納米技術、光學、顯微鏡、分子束外延、功能和裝飾涂層等應用中沉積金屬、氧化物、磁性材料和電介質的理想選擇。
電子束蒸發系統EB-4P專為實驗室或研發、中試生產、大學研究或小規模生產量身定制。緊湊的結構使其成為潔凈室應用的理想選擇。
電子束蒸發系統EB-4P可生產多種材料的均勻粘附薄膜。電子束蒸發可在低污染的情況下產生優異的速率控制沉積，并具有多軸旋轉能力，可在任何尺寸或形狀的樣品上獲得均勻性。
電子束蒸發系統EB-4P特點
電拋光不銹鋼腔室（D形盒）
帶手動快門的前門上的4“直徑觀察口
帶水冷坩堝的單/多槽電子束源（從4cc到75cc）
帶X-Y掃描控制器的高壓電源（3kW至15kW）
匹配雙級渦輪分子真空泵系統
旋轉葉片泵
帶沉積控制器的石英晶體厚度傳感器
帶數字顯示和讀數的全量程真空計
半自動控制系統
可選項目
冷水機
具有樣本傳輸適應性的負載鎖定系統
多軸基板臺旋轉
石英燈加熱器（從300°C到800°C）
行星基臺
PLC控制系統
PC控制系統
水冷基板級
SQC 310膜厚監測器和沉積控制器
電動快門組件
大容量坩堝及電源
干式渦旋泵
低溫泵送系統
冷陰極或熱陰極電離計
可調尺寸和高度，適用于基板平臺
用于未來升級的額外備用法蘭
帶數字讀數的質量流量控制器
射頻清洗能力
現場掩模變換器

關鍵詞：顯微鏡高壓電源真空泵傳感器控制系統