<tfoot id="qqie6"></tfoot>

<ul id="qqie6"></ul>

當前位置：孚光精儀（中國）有限公司>>激光加工測試系統(tǒng)>>納米壓印光刻機

納米壓印光刻機

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號FPSUS-SMILE

品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地

在線詢價收藏產(chǎn)品

聯(lián)系方式：陳小姐查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-03-30 11:18:40瀏覽次數(shù)：220次

聯(lián)系我時，請告知來自儀表網(wǎng)

產(chǎn)品分類 品牌分類

  激光加工測試系統(tǒng)

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

孚光精儀（中國）有限公司

經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：1482條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：陳小姐（銷售）

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

納米壓印光刻機SMILE制作微光學器件的納米壓印光刻系統(tǒng),也是晶圓級相機,圖像傳感器生產(chǎn)中所需的設備

詳細介紹

納米壓印光刻機SMILE制作微光學器件的納米壓印光刻系統(tǒng),也是晶圓級相機,圖像傳感器生產(chǎn)中所需的設備。納米壓印光刻機SMILE可在其掩模對準器平臺上進行大面積圖案化。
微圖案化應用
光學定制的抗蝕劑以水坑的形式分布在表面上基板表面。通過移動與基板接觸的基板抗蝕劑在基底之間徑向擴散填充印章的3D圖案。
晶圓尺寸：200mm
壓印面積：200mm
結(jié)構(gòu)分辨率：從mm級到<100nm
納米圖案化應用
柔性印模在中心彎曲，并與涂有抗蝕劑的基材接觸。接觸波徑向延伸至基板的外邊緣。作為最終結(jié)果步驟：抗蝕劑固化（例如通過UV照射）。然后將堆疊分離，并將圖案的負片特征保留在基底上的抗蝕劑中需要精確的楔塊誤差補償和間隙設置因此，壓印光刻的關(guān)鍵因素。SUSS掩模對準器平臺提供主動楔形誤差采用壓電線性電路的補償系統(tǒng)致動器、高精度間隙測量系統(tǒng)和力檢測器。這實現(xiàn)了精確的橫向和軸向?qū)⒂∧驶住?br /> 晶圓尺寸：200mm
壓印面積：200mm
結(jié)構(gòu)分辨率：從mm級到<100nm
納米壓印光刻機亮點
+對抗蝕劑厚度和厚度的精確控制一致性
+任意襯底材料
+雙面圖案化能力
+高對準精度
+邊緣處理或緩沖晶片以避免透鏡
+翹曲晶片處理

納米壓印光刻機結(jié)果

關(guān)鍵詞：圖像傳感器

其他推薦產(chǎn)品更多>>