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晶圓光致發(fā)光和缺陷檢測(cè)系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2023-03-30 11:17:15瀏覽次數(shù)：559次

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孚光精儀（中國）有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

晶圓光致發(fā)光和缺陷檢測(cè)系統(tǒng)Imperia系統(tǒng)可檢測(cè)并分類晶圓缺陷,實(shí)現(xiàn)光致發(fā)光（PL）生產(chǎn)監(jiān)控

詳細(xì)介紹

晶圓光致發(fā)光和缺陷檢測(cè)系統(tǒng)Imperia系統(tǒng)可檢測(cè)并分類晶圓缺陷,實(shí)現(xiàn)光致發(fā)光（PL）生產(chǎn)監(jiān)控。
晶圓光致發(fā)光和缺陷檢測(cè)系統(tǒng)將這兩個(gè)外延后計(jì)量篩選功能組合到一個(gè)高通量系統(tǒng)中，可限度地減少寶貴的晶圓廠空間使用和盒處理時(shí)間。該產(chǎn)品可為用戶提供顯著的經(jīng)濟(jì)節(jié)約（例如：準(zhǔn)確預(yù)測(cè)MOCVD反應(yīng)器產(chǎn)量和PM計(jì)劃）。
晶圓光致發(fā)光和缺陷檢測(cè)系統(tǒng)特點(diǎn)
高密度光譜光致發(fā)光PL映射
晶圓缺陷分析和分類
高分辨率外延層厚度和歸一化反射率成像
晶圓形狀輪廓和三維翹曲重建

高密度光譜PL映射：裸晶片和圖案化晶片上的峰值λ、峰值強(qiáng)度、半高寬和其他光子學(xué)相關(guān)參數(shù)

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