<tfoot id="qqie6"></tfoot>

<ul id="qqie6"></ul>

當前位置：孚光精儀（中國）有限公司>>光學測量系列>>多功能晶圓翹曲度測量儀

多功能晶圓翹曲度測量儀

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協議為準

產品型號FPEH-MX70X

品牌

廠商性質經銷商

所在地

在線詢價收藏產品

聯系方式：陳小姐查看聯系方式

更新時間：2023-03-30 10:55:55瀏覽次數：191次

聯系我時，請告知來自儀表網

產品分類 品牌分類

  光學測量系列

全部產品列表

暫無信息

孚光精儀（中國）有限公司

經營模式：經銷商

商鋪產品：1482條

所在地區：

聯系人：陳小姐（銷售）

詢價 給他留言

產品簡介

這款多功能晶圓翹曲度測量儀是為晶圓生產線上自動晶圓翹曲度測量設計的大型自動晶圓測量儀器,具有晶圓厚度測量,晶圓翹曲度測量,晶圓BOW/WARP測量,晶圓waveiness不平度,波紋度測量,晶圓粗糙度測量等功能,適合晶圓納米表面形貌測量

詳細介紹

這款多功能晶圓翹曲度測量儀是為晶圓生產線上自動晶圓翹曲度測量設計的大型自動晶圓測量儀器,具有晶圓厚度測量,晶圓翹曲度測量,晶圓BOW/WARP測量,晶圓waveiness不平度,波紋度測量,晶圓粗糙度測量等功能,適合晶圓納米表面形貌測量。
這款多功能晶圓翹曲度測量儀僅僅適合工藝級生產線上自動檢測晶圓性能。不適合獨立的手動操作。
多功能晶圓翹曲度測量儀特別適合在生產過程中晶圓蝕刻檢測。它可以被整合到蝕刻系統內,由機器人或自動處理系統加載。可測量如下指標
晶圓厚度,
晶圓TTV總厚度變化
晶圓翹曲和彎曲度
晶圓波紋度
多功能晶圓翹曲度測量儀規格參數
晶圓直徑：300+/-0.5mm
晶圓厚度范圍：680-870um
Warp (LSR)精度Accuracy: +/-3um
Warp (LSR)重復精度Precision: 1um
厚度精度Accuracy: +/-0.3um
厚度重復精度Precision: 0.1um
TTV厚度精度Accuracy: +/-0.2um
TTV厚度重復精度Precision: 0.1um
波紋度精度Accuracy: +/-1um
波紋度重復精度Precision: 0.3um

關鍵詞：測量儀

其他推薦產品更多>>