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大型自動光學檢測系統AOI

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產品型號FPMVP-MVP900

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更新時間：2023-03-03 07:53:34瀏覽次數：186次

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產品簡介

大型自動光學檢測系統AOI是為14晶圓光學檢測設計的自動光學檢測機器,非常適合微電子與半導體檢測,自動光學檢測晶圓、芯片、引線鍵合等

詳細介紹

大型自動光學檢測系統AOI是為14''晶圓光學檢測設計的自動光學檢測機器,非常適合微電子與半導體檢測,自動光學檢測晶圓、芯片、引線鍵合等。
大型自動光學檢測系統AOI的900系列是一個模塊化AOI檢查平臺,提供一系列*的光學和操控性
解決方案包括3D、高分辨率成像和quad彩色照明。攝像頭和光學系統可擴展到分辨率低于1微米。此外，一系列可定制物料搬運配置包括…在內刀庫處理、帶鋼處理、托盤處理和晶圓處理。
大型自動光學檢測系統AOI非常適合晶片、芯片和引線、鍵合檢查等。提供自動檢查和校準功能,適合半導體和微電子領域的測量解決方案。
大型自動光學檢測系統AOI平臺提供的分辨率,2D和3D功能和光學,微電子、包裝和三坐標測量功能。
大型自動光學檢測系統AOI使用高分辨率3D系統、12MP分辨率攝像頭、多層照明和多通道技術。
大型自動光學檢測系統AOI特點
滿足100級超凈間標準（請聯系我們確認）
較高測量能力，較大吞吐量
高分辨率3D檢測，微光學物鏡,
100-300mm晶圓
引線鍵合檢測

大型自動光學檢測系統AOI規格參數

型號	MVP900	+LP7	+LP15	+Micro
檢測能力	晶圓,切片晶圓,引線鍵合,引線框架,微電子,3D粘貼,焊劑,保形,環氧樹脂,膠水,RF, BGA, CMM,模具、表面檢查、陶瓷、厚膜、汽車等
編程速度	增強的工具，允許您使用或不借助CAD生成程序
X和Y運動系統	精密XY位移臺具有0.5微米的定位精度
光學分辨率	0.3~5um可選擇（請您訂購時選擇確定分辨率）
光學相機	分辨率2500萬像素或1200萬像素可選
光學照明	白光或Quad彩色照明
3D測量原理	3D光源照明	激光輪廓儀	激光輪廓儀	微觀測量
3D速度		0.5cm/s	2.4cm/s	由應用決定
3D傳感器 XY分辨率		2.5um	5um	250-350nm
3D傳感器 Z重復精度		0.3um	0.4um	0.5um
零件高度	35mm	35mm	35mm	35mm
計算機	多線程高級計算機，配置不低于1TB SSD硬盤，32-256G內存，Linux系統
檢測的外部尺寸	355mm x 355mm (14'')
片厚	0.01-12.5mm
外形尺寸	W844mm x D1066mm x H1473mm
傳送帶長度	850mm
供電要求	208-240VAC,10A, 50/60Hz
重量	680kg
符合標準	S2/S8, CE