這款4英寸探針臺(tái)是專(zhuān)業(yè)為4英寸晶圓測(cè)試設(shè)計(jì)的通用手動(dòng)探針臺(tái),可滿(mǎn)足4英寸晶圓測(cè)試需要,測(cè)試溫度范圍室溫~300℃,可滿(mǎn)足高溫和低溫環(huán)境下晶圓溫度特性測(cè)試,RF測(cè)試等典型應(yīng)用。
4英寸探針臺(tái)特點(diǎn)
滿(mǎn)足4''晶圓測(cè)試需要
測(cè)試溫度:室溫~300℃
可選擇芯片固定配件
可配備護(hù)罩,防止露水凝結(jié)
可配備護(hù)罩,提供較低噪音環(huán)境
使用空氣快速定位的測(cè)微計(jì)進(jìn)行粗略移動(dòng)和微調(diào)
壓盤(pán)的Z運(yùn)動(dòng)有粗運(yùn)動(dòng)和細(xì)運(yùn)動(dòng),粗運(yùn)動(dòng)可以用杠桿操作可以用千分尺調(diào)整。
4英寸探針臺(tái)應(yīng)用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探針測(cè)試:20KV DC/200A
RF測(cè)試
各種電阻測(cè)量,如sheet電阻測(cè)量
高溫和低溫環(huán)境下的溫度特性測(cè)試
可靠性測(cè)試,如TDDB
4英寸探針臺(tái)可選配件
Thermal chuck from室溫 ~+300°C
各種光源
三目顯微鏡(標(biāo)配體視顯微鏡)
4英寸探針臺(tái)可以連接配合的測(cè)試儀器
設(shè)備分析儀/參數(shù)分析儀
功率器件分析儀
源度量單位
曲線跟蹤器
精密LCR儀表
數(shù)字萬(wàn)用表
阻抗分析儀
網(wǎng)絡(luò)分析器
4英寸探針臺(tái)規(guī)格參數(shù)
型號(hào) | α100 |
晶圓卡片尺寸 | ~4英寸 |
位移臺(tái)行程(粗調(diào)) | X:100mm, Y:110mm |
位移臺(tái)行程(精調(diào)) | X:±6.5㎜ Y:±6.5㎜ |
位移臺(tái)Theta角范圍 | ±5° |
Z軸位移臺(tái)行程 | 0-0.3-0.5mm |
Z軸位移臺(tái)行程(精調(diào)) | 5mm |
尺寸 | W320×H355×D490㎜ |
重量 | 25Kg |