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孚光精儀(中國(guó))有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)FPKLOE-UV-KUB6
品 牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
所 在 地
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更新時(shí)間:2021-08-19 13:49:40瀏覽次數(shù):78次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 儀表網(wǎng)這款紫外掩膜曝光系統(tǒng)是采用紫外LED冷光源的LED紫外曝光機(jī)和LED掩膜曝光機(jī),是一種冷光源紫外LED掩膜曝光裝置,它提供標(biāo)準(zhǔn)的365nm紫外線,可適用6英寸晶圓,兼容硬接觸和軟接觸過(guò)程,并具有可變掩膜和襯底距離控制功能
這款紫外掩膜曝光系統(tǒng)是采用紫外LED冷光源的LED紫外曝光機(jī)和LED掩膜曝光機(jī),是一種冷光源紫外LED掩膜曝光裝置,它提供標(biāo)準(zhǔn)的365nm紫外線,可適用6英寸晶圓,兼容硬接觸和軟接觸過(guò)程,并具有可變掩膜和襯底距離控制功能。
紫外掩膜曝光系統(tǒng)適合光學(xué),生物科技,微電子,晶圓鍵合,固化,細(xì)胞培養(yǎng)等多種應(yīng)用,廣泛用于紫外曝光固化。
紫外掩膜曝光系統(tǒng)是*單色紫外發(fā)射,具有35mW/cm^2的功率密度,在6英寸的面積上光源均勻度搞到+/-10%, 是理想的高精度紫外曝光機(jī)。
這套紫外掩膜曝光系統(tǒng)采用了的LED光源技術(shù),*實(shí)現(xiàn)單波長(zhǎng)紫外冷光源照明,有效消除熱效應(yīng),非常適合實(shí)驗(yàn)室或超凈間的紫外曝光使用。
紫外掩膜曝光系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊,方便移動(dòng),采用觸摸屏控制操作,*有效安全控制自我曝光室。
紫外掩膜曝光系統(tǒng)的LED紫外光源壽命高達(dá)1萬(wàn)小時(shí),非常可靠而耐用,不需要日常維護(hù),非常方便使用。
紫外掩膜曝光系統(tǒng)特點(diǎn)
非常緊湊,桌上使用設(shè)計(jì)
的紫外單色LED冷光源
工作面積為4英寸晶圓
適合所有光刻膠
分辨率:2微米
無(wú)需預(yù)熱,直接開(kāi)機(jī)使用
實(shí)時(shí)溫度控制功能確保均勻曝光
紫外照明功率強(qiáng)度可調(diào)
可單次曝光或連續(xù)曝光
適合光學(xué),生物科技,微電子,晶圓鍵合,固化,細(xì)胞培養(yǎng)等多種應(yīng)用
紫外掩膜曝光系統(tǒng)參數(shù)
波長(zhǎng):365nm
功率密度:40mW/cm^2
曝光過(guò)程中襯底溫度上升:<1攝氏度
曝光時(shí)間:1秒到18小時(shí)
可編程控制循環(huán):10個(gè)
分辨率:2微米
外部尺寸:260x 260x260mm
重量:8.2kg
彩色觸摸屏:5.7英寸
供電要求:230V
用電功耗:200W
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