<tfoot id="qqie6"></tfoot>

<ul id="qqie6"></ul>

當(dāng)前位置：孚光精儀（中國）有限公司>>激光加工測試系統(tǒng)>>微型激光直寫光刻機(jī)

微型激光直寫光刻機(jī)

返回列表頁

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號FPKLOE-Dilase250

品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

聯(lián)系方式：陳小姐查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2021-08-19 13:43:17瀏覽次數(shù)：102次

聯(lián)系我時(shí)，請告知來自儀表網(wǎng)

產(chǎn)品分類 品牌分類

  激光加工測試系統(tǒng)

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

孚光精儀（中國）有限公司

經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：1482條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：陳小姐（銷售）

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡介

微型激光直寫光刻機(jī)的桌面型高分辨率激光光刻系統(tǒng)，它通過固定連續(xù)的375nm或405nm紫外光源在光刻膠或紫外敏感膠中直接刻劃獲得微納結(jié)構(gòu)，直寫面積高達(dá)4英寸，最小特征尺寸（寬度）可達(dá)1微米

詳細(xì)介紹

微型激光直寫光刻機(jī)的桌面型高分辨率激光光刻系統(tǒng)，它通過固定連續(xù)的375nm或405nm紫外光源在光刻膠或紫外敏感膠中直接刻劃獲得微納結(jié)構(gòu)，直寫面積高達(dá)4英寸，最小特征尺寸（寬度）可達(dá)1微米。

微型激光直寫光刻機(jī)提供豎直和掃描直寫模式，確保直接軌跡偏離小于100nm。微型激光直寫光刻機(jī)具有電動(dòng)光學(xué)聚焦系統(tǒng)，提供快速精準(zhǔn)的聚焦功能，從而適合各種厚度襯底的要求，并具有晶圓裝載和卸載系統(tǒng)裝備到襯底室供客戶選配，增強(qiáng)清潔程度，提高工作量和用戶安全程度。
微型激光直寫光刻機(jī)兼容大多數(shù)商用光刻膠，比如SU8，shipley, AZ等，我們還對K-CL膠特別優(yōu)化，用于微結(jié)構(gòu)應(yīng)用。

微型激光直寫光刻機(jī)特色
非常緊湊的桌面型設(shè)計(jì)
掩膜制作和激光直寫
激光光源375nm 或405nm 任選
兼容所有商用光刻膠
對比度高達(dá)1x20
自動(dòng)聚焦
豎直直寫或掃描直寫模式

微型激光直寫光刻機(jī)參數(shù)
直線直寫速度：>100mm/s
位移臺分辨率：100nm
重復(fù)精度：100nm
晶圓直寫面積：1-4英寸
襯底厚度：150um-5mm
激光光斑大小：1um-50um
標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)直精度：1um
form factor: 10

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn)

其他推薦產(chǎn)品更多>>