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    孚光精儀(中國)有限公司


    光刻掩膜版

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    具體成交價以合同協議為準

    產品型號FPGEOL-VRP

    品       牌

    廠商性質經銷商

    所  在  地

    聯系方式:陳小姐查看聯系方式

    更新時間:2021-08-19 13:35:49瀏覽次數:130次

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    經營模式:經銷商

    商鋪產品:1482條

    所在地區:

    聯系人:陳小姐 (銷售)

    產品簡介

    光刻掩膜版專業用于微電子高精度光刻掩膜而設計,采用鹵化銀感光物質,也可用于同步加速器設備中的布拉格衍射X射線斷層攝影和X射線放射成像

    詳細介紹

    光刻掩膜版專業用于微電子高精度光刻掩膜而設計,采用鹵化銀感光物質,也可用于同步加速器設備中的布拉格衍射X射線斷層攝影和X射線放射成像
    光刻掩膜版使用壽命:12個月
    光刻掩膜版壽命:18個月。
    光刻掩膜版VRP是Agfa(Millimask)和柯達(HR-P,TE)板的實際替代品。
    光刻掩膜版是專為制造用于微電子學的高精度掩模而設計的。 該材料也用于許多歐洲同步加速器設備中的布拉格衍射X射線斷層攝影和放射成像。 高分辨率,高耐久性和優異的乳劑層與玻璃基底的粘附能夠記錄小于2.5微米的照相特征。
    所有光刻掩膜版通常以每個6個單位的紙板包裝提供。 標準尺寸的板尺寸為406×300mm。 標準玻璃厚度為2.5 mm。 所有光刻掩膜版都配有防暈涂層。 定制玻璃尺寸和薄膜基材可根據要求提供任何乳液。 保質期 - 12個月。

    VRP光刻掩膜版特性
    平均敏感度,ISO
    負面過程:
    反轉過程:
    0.02
    0.04
    對比度不小于5
    。 密度不小于3
    光譜敏化值,nm:525
    光譜敏化區,nm:400-565
    霧密度不大于0.02
    分辨力,mm-1,不小于:3,000
    乳液層強度加工后,kg力,不小于0.9
    乳液層溫度變形,oC,不小于:55















    處理和處理建議
    使用深綠色濾光片(透射區域 - 530 nm及以下)在間接非光化光中開封并加工。 加工溶液溫度-20±2℃。 儲存條件:濕度65%和12-15攝氏度。
    VRP材料的推薦加工用于面膜生產
    負過程溶液溫度
    曝光
    顯影研制在蒸餾水中稀釋的濃縮VRP顯影劑1:5,4-5min20
    沖洗水3分鐘17±2
    固定固定器5-10分鐘20
    洗滌水3分鐘17±2
    最終洗滌水用潤濕劑(Agepon)1min17±2
    干燥慢氣20±4
    沖銷過程
    曝光
    顯影在蒸餾水中稀釋的濃縮VRP顯影劑1:1.7,4.5min20
    沖洗水洗3分鐘17±2
    漂白漂白,1.5分鐘20
    沖洗水洗3分鐘17±2
    增亮增亮劑3分鐘20
    沖洗水沖洗5分鐘17±2
    照明500W燈,距離乳液70厘米,1分鐘
    第二顯影稀釋在蒸餾水中的顯影濃縮VRP顯影劑1:5-3分鐘20
    沖洗水沖洗1分鐘17±2
    固定固定器,2分鐘20±4
    沖洗水洗3分鐘17±2
    最終洗滌帶潤濕劑的水(Agepon)1min17±2
    干燥慢氣20±4

    用于X射線層析成像和放射照相術的VRP光刻掩膜版材料處理方案
    程序化學制品溫度
    曝光
    顯影柯達RP X-OMAT顯影,5分鐘20
    洗滌2分鐘17±2
    固定柯達RP X-OMAT LO固定器,5分鐘20
    洗滌水10分鐘17±2
    干燥慢氣20±4

    關鍵詞:標準
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