孚光精儀(中國)有限公司
翹曲度測量儀是孚光精儀公司進口的翹曲度檢測儀器,一套翹曲度測試儀器可以測量:熱沉,晶圓(wafer),太陽能電池和硅片翹曲度,應力以及表面形貌
翹曲度測量儀是孚光精儀公司進口的翹曲度檢測儀器,一套翹曲度測試儀器可以測量:熱沉,晶圓(wafer),太陽能電池和硅片翹曲度,應力以及表面形貌。適合光伏電池翹曲度測量,太陽能電池翹曲度測量,晶圓翹曲度測量,硅片翹曲度測量,晶片翹曲度測量。
這款翹曲度測量儀是特別為半導體晶圓(wafer)和太陽能電池(solar cell)的翹曲度(warp) 和彎曲度(bow)以及表面形貌(topography)的測量而設計,可以測量晶圓翹曲度(wafer warpage) 和晶圓表面形貌, 晶圓應力,硅片張力,太陽能電池量子效率.
這套翹曲度檢測儀既適合科研單位使用,也適合工業客戶大產品、高效率的晶圓翹曲度和表面形貌的檢測的需要。
我們還根據不同晶圓類型提供如下兩種硅片翹曲度測量儀:
1. 非反射型:適合晶圓表面覆蓋晶圓保護膜/膠帶(wafer tape),圖案化晶圓 /圖樣化晶圓(patterned wafer),粗糙的晶圓的應用;
2. 高反射型: 適合晶圓表面光滑 / 鏡反射的應用。
翹曲度測量儀主要特點:
× 適合不同尺寸的晶圓檢測,從0.5’‘到12''的直徑;
* 標準檢測能力為: 每小時可檢測2000個晶圓或更多太陽能電池;
× 同時測量多個晶圓或太陽能電池;
× 測量鍍膜后的晶圓或solar cell;
* 分析太陽能電池或晶圓應力和張力;
* 對晶圓表面進行圖像分析;
* 測量圖案化晶圓或非圖案化的晶圓;
* 具有太陽能電池的量子效率測量選項供選擇
翹曲度測量儀主要參數:
× 翹曲度測量范圍:1-20微米;
* 重復精度: 百分之0.5 (1 sigma);
* 給出結果:曲率半徑,晶圓彎曲高度,翹曲度,測量日期和時間;
* RMS粗糙度mapping: 0.5-20A (可選項);
* 光源:根據用戶的應用而配備不同光源;
* 探測器:高分辨率探測器陣列并配備亞像素軟件;
更多翹曲度測量測試儀器:/jingyuanceshi.html
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