213nm深紫外脈沖激光器eMOPA213-20是采用DPSS被動調(diào)Q激光技術(shù)的213nm深紫外固體激光器,以Nd:YAG激光作為MOPA主控振蕩器并配備二極管泵浦激光放大器,獲得更高脈沖能量和激光平均功率。
該213nm MOPA主控振蕩器系列激光器采用了微芯片激光設(shè)計,脈寬可達1ns脈寬,峰值功率可達100KW。
這種213nm深紫外脈沖激光器eMOPA213-20結(jié)構(gòu)緊湊、堅固,易于集成到儀器和計量設(shè)備中,非常適合激光微加工,激光打標(biāo),生物光子學(xué)和生命科學(xué)應(yīng)用。
213nm深紫外脈沖激光器eMOPA213-特點:
極短脈沖
外部/內(nèi)部觸發(fā)
單脈沖工作
光束質(zhì)量好
脈沖-脈沖穩(wěn)定性好
輸出能量穩(wěn)定
脈寬<1ns
重復(fù)頻率1Hz-1000Hz
單脈沖能量>20uJ
說明:MOPA主控振蕩器并配備二極管泵浦激光放大器的配置, 非常方便倍頻和合頻轉(zhuǎn)換,采用高純度非線性晶體將波長從基頻光降低到532nm、355nm、266nm和213nm。
該MOPA主控振蕩器系列激光器各種型號能夠產(chǎn)生脈沖能量高達200μJ,平均功率高達200mW的激光,重復(fù)頻率既可以內(nèi)部觸發(fā)也可以外部觸發(fā)控制,重復(fù)頻率從1Hz到1KHz。
213nm深紫外脈沖激光器eMOPA213-規(guī)格參數(shù)
波長:213nm
峰值功率:>20千瓦@1000赫茲
脈沖能量:>20微焦@1000 Hz
光束發(fā)散(全角):<3 mrad
光束橢圓度:<3:1
光束直徑:0.6±0.3 mm(激光出口處)
空間模式:TEM00
脈沖重復(fù)率(帶外部觸發(fā)器):單次觸發(fā)(按需脈沖)–1 kHz
脈沖寬度(fwhm):<1.0ns
極化率:>100:1,水平
超過6h的脈沖能量漂移 1):<±5%
脈沖間能量穩(wěn)定性 2):<3%
激光分類:4/IV
光輸出:自由光
電氣數(shù)據(jù):
耗電量:<100W
線路電壓:90-265 V ac(50-60 Hz)
接口:USB/RS232
外部觸發(fā)用BNC連接器(TTL)
用于24 V直流輸出的SMB連接器
其他:預(yù)熱時間:<10分鐘
工作溫度:22-32°C
激光頭尺寸:56 x 140 x 265 mm(H x W x L)
獨立裝置尺寸:129.5 x 177 x 180 mm(H x W x L)
選項:電子束阻擋器
同步信號輸出(上升時間<1.5ns)
1)1KHz激活閉環(huán)控制連續(xù)運行10分鐘后平均10秒以上
2)連續(xù)運行10分鐘后,超過1000個脈沖@1KHz