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納米線性位移臺光學表面分析儀

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產品型號FPSMA-SLL12

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更新時間：2022-11-29 09:23:36瀏覽次數：336次

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產品簡介

納米線性位移臺SLL12是長行程范圍的線性納米位移臺,基于循滑塊設計，小滑塊結合不同長度的導軌，使其可以進行精確遠程納米位移定位或在有限空間內大行程范圍的納米位移定位

詳細介紹

納米線性位移臺SLL12是長行程范圍的線性納米位移臺,基于循滑塊設計，小滑塊結合不同長度的導軌，使其可以進行精確遠程納米位移定位或在有限空間內大行程范圍的納米位移定位。可以在同一個軌道上放置多個滑塊。
納米線性位移臺SLL12可由我們的任何控制單元操作，也可用于高真空應用。

納米線性位移臺SLL12規格參數

型號	SLL12	SLLA42	SLLV42
分辨率	<1nm	<1nm	<1nm
負載	30N(3kg)	30N(3kg)	30N(3kg)
適合真空度	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar
行程范圍	70~475mm	70~1480mm	70~1480mm
步進1	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm
掃描范圍	>1.5um	>3um	>3um
掃描分辨率	<1nm	<1nm	<1nm
速度	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s
頻率	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz
阻尼力Fb	>3N	>5N	>5N
正向力Fn	30N	30N	30N
升力Fl	>1N	>1.5N	>1.5N
尺寸	33.8 x 27 x 13 mm³	54 x 60 x 16 mm³	54.8 x 60 x 16 mm³
重量	44g	148g	148g
鋼軌重	59 g / 100 mm	286 g / 100 mm	286 g / 100 mm
pitch俯仰力矩Mp	6Nm	25Nm	25Nm
yaw偏航力矩My	6Nm	25Nm	25Nm
roll扭轉力矩Mr	11Nm	90Nm	90Nm
Closed-Loop-S 傳感器分辨率	1nm	1nm	1nm
Closed-Loop-S 重復精度	± 70 ~450 nm ²	± 70 ~450 nm ²	± 70 ~450 nm ²

納米線性位移臺SLL12可選項目
多運載滑塊
沉頭孔、螺紋孔（M4）
黑色陽極氧化（-BK）
閉環所需的螺紋孔M4
-HV (10^-6 mbar) ³
納米線性位移臺SLL12配件
納米線性位移臺SLL12具有多種配件方便用戶使用,可以配備各種規格的適配板,也可集成壓電驅動導軌用于搭建各種復雜納米定位系統。
納米線性位移臺SLL12配件-被動運載滑塊-可以安裝到各種導軌上,方便移動定位樣品
納米線性位移臺SLL12配件-終點阻擋器-安裝到線性定位臺上方便阻擋滑塊脫軌
納米線性位移臺SLL12配件-寬定位臺適配器-能夠適配不同寬度的納米線性定位臺

納米線性位移臺SLL12應用案例
我們采用兩個納米線性位移臺SLL12和一套SR-7012納米旋轉定位臺組成了3D納米微操作器,能夠負載300克樣品,在XY和旋轉方向為用戶提供納米定位,可用于真空環境,非常適合用于SEM掃描電子顯微等樣品定位。

關鍵詞：控制單元傳感器