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納米線性平移臺光學表面分析儀

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產(chǎn)品型號FPSMA-SLLA42

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更新時間：2022-11-28 09:18:10瀏覽次數(shù)：265次

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孚光精儀（中國）有限公司

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產(chǎn)品簡介

納米線性平移臺SLLA42是長行程范圍的線性納米位移臺,基于循滑塊設計，小滑塊結(jié)合不同長度的導軌，使其可以進行精確遠程納米平移定位或在有限空間內(nèi)大行程范圍的納米位移定位

詳細介紹

納米線性平移臺SLLA42是長行程范圍的線性納米位移臺,基于循滑塊設計，小滑塊結(jié)合不同長度的導軌，使其可以進行精確遠程納米平移定位或在有限空間內(nèi)大行程范圍的納米位移定位。可以在同一個軌道上放置多個滑塊。
納米線性平移臺SLLA42可由我們的任何控制單元操作，也可用于高真空應用。

納米線性平移臺SLLA42規(guī)格參數(shù)

型號	SLL12	SLLA42	SLLV42
分辨率	<1nm	<1nm	<1nm
負載	30N(3kg)	30N(3kg)	30N(3kg)
適合真空度	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar
行程范圍	70~475mm	70~1480mm	70~1480mm
步進1	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm
掃描范圍	>1.5um	>3um	>3um
掃描分辨率	<1nm	<1nm	<1nm
速度	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s
頻率	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz
阻尼力Fb	>3N	>5N	>5N
正向力Fn	30N	30N	30N
升力Fl	>1N	>1.5N	>1.5N
尺寸	33.8 x 27 x 13 mm³	54 x 60 x 16 mm³	54.8 x 60 x 16 mm³
重量	44g	148g	148g
鋼軌重	59 g / 100 mm	286 g / 100 mm	286 g / 100 mm
pitch俯仰力矩Mp	6Nm	25Nm	25Nm
yaw偏航力矩My	6Nm	25Nm	25Nm
roll扭轉(zhuǎn)力矩Mr	11Nm	90Nm	90Nm
Closed-Loop-S 傳感器分辨率	1nm	1nm	1nm
Closed-Loop-S 重復精度	± 70 ~450 nm ²	± 70 ~450 nm ²	± 70 ~450 nm ²

納米線性平移臺SLLA42可選項目
多運載滑塊
沉頭孔、螺紋孔（M4）
黑色陽極氧化（-BK）
閉環(huán)所需的螺紋孔M4
-HV (10^-6 mbar) ³
納米線性平移臺SLLA42配件
納米線性平移臺SLLA42具有多種配件方便用戶使用,可以配備各種規(guī)格的適配板,也可集成壓電驅(qū)動導軌用于搭建各種復雜納米定位系統(tǒng)。
納米線性平移臺SLLA42配件-被動運載滑塊-可以安裝到各種導軌上,方便移動定位樣品
納米線性平移臺SLLA42配件-終點阻擋器-安裝到線性定位臺上方便阻擋滑塊脫軌
納米線性平移臺SLLA42配件-寬定位臺適配器-能夠適配不同寬度的納米線性定位臺

納米線性平移臺SLLA42應用案例
我們采用納米線性平移臺和一套SR-7012納米旋轉(zhuǎn)定位臺組成了3D納米微操作器,能夠負載300克樣品,在XY和旋轉(zhuǎn)方向為用戶提供納米定位,可用于真空環(huán)境,非常適合用于SEM掃描電子顯微等樣品定位。

關鍵詞：控制單元傳感器