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納米垂直升降臺光學表面分析儀

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產品型號FPSMA-SHL-1D80N-1

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更新時間：2022-11-28 09:18:10瀏覽次數：193次

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產品簡介

納米垂直升降臺SHL系列是采用納米編碼器具有高負載能力的納米垂直定位臺,能夠在Z軸垂直方向精確升降定位,具有不同范圍的負載

詳細介紹

納米垂直升降臺SHL系列是采用納米編碼器具有高負載能力的納米垂直定位臺,能夠在Z軸垂直方向精確升降定位,具有不同范圍的負載。
納米垂直升降臺SHL-1D80N-1具有獨立導軌，確保負載方向直線運動。并可以集成多種定位編碼器用于直接位置反饋。
納米垂直升降臺SHL-1D80N-1專業為垂直升降定位而設計,可額外裝備恒力彈簧抵消負載,從而獲得平穩的更大負載值。
納米垂直升降臺SHL-1D80N-1采用納米編碼器可托舉高達10kg負重升降數毫米高度,多軸系統可以在三個軸向提供更高阻尼力。

納米垂直升降臺系列規格參數

型號	SHL-1D20N-10	SHL-1D80N-1	SHL-3D5N-1
分辨率	<1nm	<1nm	<1nm
負載	20N(2kg)	80 N (8 kg)	5 N (500g)
適合真空度	10-11 mbar	10^-11 mbar	10^-11 mbar
行程范圍	10mm（+/-5mm)	1mm	1mm
步進	10-300nm	1 – 150 nm	1 – 150 nm
掃描范圍	>500um	> 500 µm	> 500 µm
掃描分辨率	<1nm	< 1 nm	< 1 nm
速度	>5mm/s	> 1 mm/s	>5mm/s
頻率	10KHz	10 kHz	10 kHz
正向力Fn	20N	80N	5N
升力Fl	20N	80N	5N
尺寸2	65 x 75 x 50 mm^3	41 x 86 x 50 mm³	100 x 140 x 40 mm³
重量	400g	340g	650g
Closed-Loop-S 傳感器分辨率1	1nm	1nm	1nm
Closed-Loop-S 重復精度2	+/-100nm	+/-100nm	+/-100nm
Closed-Loop-L 傳感器分辨率	4nm	4nm	4nm
Closed-Loop-L 閉環分辨率	+/-500nm(H)CU,4nm MCS	+/-500nm(H)CU,4nm MCS	+/-500nm(H)CU,4nm MCS
Closed-Loop-L 重復精度	+/-1um(H)CU,+/-200nm MCS	+/-1um(H)CU,+/-200nm MCS	+/-1um(H)CU,+/-200nm MCS