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壓電旋轉(zhuǎn)定位臺光學(xué)表面分析儀

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產(chǎn)品型號FPSMA-SR-1908

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更新時間：2022-11-26 09:06:43瀏覽次數(shù)：150次

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孚光精儀（中國）有限公司

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產(chǎn)品簡介

壓電旋轉(zhuǎn)定位臺SR-4011是采用壓電旋轉(zhuǎn)臺技術(shù)的壓電旋轉(zhuǎn)定位器,采用壓電電機(jī)驅(qū)動可實現(xiàn)360度無限旋轉(zhuǎn)

詳細(xì)介紹

壓電旋轉(zhuǎn)定位臺SR-4011是采用壓電旋轉(zhuǎn)臺技術(shù)的壓電旋轉(zhuǎn)定位器,采用壓電電機(jī)驅(qū)動可實現(xiàn)360度無限旋轉(zhuǎn)。
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺SR-4011集成光學(xué)編碼器確保閉環(huán)定位分辨率（低于1μrad）和重復(fù)精度（高達(dá)5μrad）。
我們?yōu)橛脩籼峁追N標(biāo)準(zhǔn)壓電旋轉(zhuǎn)定位臺方便用戶選擇,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有壓電旋轉(zhuǎn)定位臺都可以根據(jù)用戶需求定制.

壓電旋轉(zhuǎn)定位臺規(guī)格參數(shù)

型號	SR-4011	SR-4513
口徑	9mm	8mm
S閉環(huán)傳感器分辨率	15μ°	15 μ°
角度分辨率	< 1 μ°	<1 μ°
掃描范圍	> 4 m°	> 4 m°
行程范圍	∞	∞
定位臺尺寸	40x 40x 11 mm³	45 x 45 x 12.5 mm3
負(fù)載	10N(1Kg)	20N(2Kg)
適合真空度	10^-6 mbar	10^-11 mbar
角速度	15度/秒	15度/秒
步進(jìn)	0.3 – 2.0 m°	0.3 – 3.0 m°
頻率	18.5KHZ	18.5KHZ
阻尼力Mb	5N cm	5N cm
正向力Fn	10N	20N
旋轉(zhuǎn)臺尺寸	Ø31mm	Ø 36 mm
重量	60g	89g
S閉環(huán)分辨率	15 μ° MSC/SDC	15 μ° MSC/SDC
L閉環(huán)傳感器分辨率	60 μ°	60 μ°
L閉環(huán)分辨率	60 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU	60 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU
M閉環(huán)傳感器分辨率	500 μ°	500 μ°
M閉環(huán)分辨率	500 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU	500 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU