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大孔徑壓電旋轉臺光學表面分析儀

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產品型號FPMAR-SR-7012

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更新時間：2022-11-26 09:06:43瀏覽次數：148次

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產品簡介

大孔徑壓電旋轉臺是采用壓電旋轉臺技術的壓電旋轉位移臺,采用壓電電機驅動可實現360度無限旋轉

詳細介紹

大孔徑壓電旋轉臺是采用壓電旋轉臺技術的壓電旋轉位移臺,采用壓電電機驅動可實現360度無限旋轉。
大孔徑壓電旋轉臺SR-7012集成光學編碼器確保閉環定位分辨率（低于1μrad）和重復精度（高達5μrad）。
我們為用戶提供幾種標準壓電旋轉定位臺方便用戶選擇,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有壓電旋轉定位臺都可以根據用戶需求定制.

大孔徑壓電旋轉臺規格參數

型號	SR-7012	SR-7021	SR-12012
口徑	Ø 30 mm	Ø 25 mm	Ø 82 mm
S閉環傳感器分辨率	15μ°	15 μ°	5 μ°
角度分辨率	< 0.5 μ°	< 0.5 μ°	< 1 μ°
掃描范圍	>2.5 m°	> 3.1 m°	> 4 m°
行程范圍	∞	∞	∞
定位臺尺寸	70 x 70 x 12 mm³	90 x 90 x 21 mm³	120 x 120 x 12 mm³
負載	25N(2.5Kg)	25N(2.5Kg)	20N(2Kg)
適合真空度	10^-11 mbar	10^-11mbar	10^-6mbar
角速度	9度/秒	9度/秒	10度/秒
步進	0.2 – 2.0 m°	0.2 – 2.0 m°	0.3 – 1.5 m°
頻率	18.5KHZ	18.5KHZ	18.5KHZ
阻尼力Mb	10N cm	10N cm	15N cm
正向力Fn	25N	25N	20N
旋轉臺尺寸	Ø 60 mm	Ø 70 mm	Ø 110 mm
重量	100g	400g	320g