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六軸并聯(lián)定位平臺(tái) 光學(xué)表面分析儀

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產(chǎn)品型號(hào)FPSMAR-pod70.42

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廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

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聯(lián)系方式：陳小姐查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-11-25 10:01:13瀏覽次數(shù)：177次

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  精密位移臺(tái)

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孚光精儀（中國）有限公司

經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：1482條

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聯(lián)系人：陳小姐（銷售）

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產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹

六軸并聯(lián)定位平臺(tái)70.42采用德國六自由度并聯(lián)機(jī)器人hexapod提供六軸并聯(lián)動(dòng)力學(xué)機(jī)器人式定位,提供六自由度操縱能力,具有更緊湊結(jié)構(gòu),更高剛性,更低的運(yùn)動(dòng)質(zhì)量和更高的響應(yīng)速度。
六軸并聯(lián)定位平臺(tái)70.42采用模塊化設(shè)計(jì),其尺寸和強(qiáng)度可以適應(yīng)不斷變化的要求,從幾厘米到幾乎一米的行程都可提供,并具有納米分辨率。

六軸并聯(lián)定位平臺(tái)70.42規(guī)格參數(shù)

分辨率<1nm
負(fù)載：500g (5N)
真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根據(jù)用戶要求）
垂直載荷Fv:5N

水平力Fh:2.5N

定位器尺寸:Ø 70 x 42 mm^3

重量:約300克

行程范圍：

x- 10 mm

y -10 mm

z -5 mm
Θx：14 °
Θy：16 °
Θz：28 °

帶納米傳感器-S閉環(huán)

最小增量（x，y，z）：1nm

最小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad